판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #9171640

NOVELLUS Gamma Express는 반도체 마이크로 패브레이션을위한 고급 에처/애셔입니다. 고속, 매우 높은 정확성 및 뛰어난 코팅 균일성을 위해 설계되었습니다. 그것은 반도체 웨이퍼 처리에 fab 환경에서 널리 사용됩니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 두 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 1) 응축기는 에치/애쉬 가스와 기판을 포함하는 진공 챔버입니다. 그리고 2) 전기 전달 시스템 (Electrical Delivery System) 은 소스에서 기판으로 출력을 전달하는 일을 담당한다. 에치/애쉬 소스 (etch/ash source) 는 전자 빔 건으로 물질을 에치/재하기 위해 고 에너지 이온을 생성합니다. 전자 와 "가스 '분자 사이 의 상호 작용 은 기질 에" 에치/애쉬' 무늬 를 만든다. NOVELLUS Gamma Express는 빔 경로를 정확하게 제어하여 에칭/애싱 패턴에 대한 탁월한 균일성을 제공합니다. 기판을 정확하게 정렬하고 동종 에칭을 보장하기 위해 다양한 척 (chucks), 공조기, 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 다양한 펄스 전원 공급 장치와 프로세스 매개변수를 미세하게 제어하기위한 비동기 드라이버가 포함되어 있습니다. 이를 통해 에치 속도, 깊이, 균일성, 선택성, 에치 종횡비 등을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 에는 입자 검출기, 진공 모니터, 오염 모니터 (contamination monitor) 와 같은 여러 가지 고급 안전 기능이 장착되어 있어 작업 환경이 안전한지 확인합니다. 전원 설정, 가스 흐름, 배기 압력 등의 프로세스 매개변수는 모두 작동 중에 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 크기 조정 측면에서 NOVELLUS Gamma Express는 폭이 540mm, 깊이가 515mm 인 매우 컴팩트합니다. 따라서 중대형 반도체 처리 작업에 적합합니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 또한 경제적이며, 경쟁적인 가격으로 많은 마이크로 패브라이션 프로세스에서 인기있는 선택입니다. 전반적으로 NOVELLUS Gamma Express는 반도체 마이크로 패브릭션을위한 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 이며, 이 프로세스의 뛰어난 제어를 자랑합니다. 뛰어난 정확도, 균일성 및 안전 측정으로 인해 반도체 처리 응용 분야에 이상적입니다.