판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #9169777

노벨 러스 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 는 반도체 제조 공정에 사용되는 다양한 기판에서 매우 정확한 제품 기능을 생산하도록 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 높은 처리량, 고정밀 마이크로 머시닝 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 여러 챔버 구성으로 제공됩니다. Gamma Express는 이방성 및 건식 에치 공정을 사용하는 단일 웨이퍼, 멀티 챔버 에처/애셔 장비입니다. 이 제품은 기능 크기를 5 미크론까지 생산할 수 있으며, 공구-웨이퍼 (tool-to-wafer) 처리 시간을 4 초까지 단축합니다. 고급 Cryo ECR 소스와 2 개의 공정 가스 (산소 및 질소) 가 있으며, 정확한 에칭 및 애싱 공정을 제공합니다. Intermix 챔버에는 에치의 선택성과 두께를 수정하는 두 가지 구성 요소 (사용자 구성 가능) 가 있습니다. Jet Etch Enhancer는 시장에서 다른 에처 및 애셔에 비해 생산성을 향상시킵니다. NOVELLUS Gamma Express는 완전히 통합 된 프로세스 제어 장치를 제공하며 사용자 친화적 인 제어 기능을 제공하는 SENTRYX 제어 시스템 (SENTRYX Control System) 으로 설계되었으며, 사용자에게 RecipeEditor를 사용하여 에칭 및 애싱 레시피를 만들고 관리할 수 있습니다. 고급 진단 도구는 도구 성능을 추적하고 예측 유지 관리를 위한 분석을 제공합니다. 또한 JETON eXchange를 통해 제거 프로세스를 제어하여 공구 가동 중지 시간을 줄입니다. 또한 감마 익스프레스 (Gamma Express) 에는 웨이퍼 처리 및 오염을 줄여 가동 중지 시간을 줄이기 위해 설계된 듀얼 존 (dual-zone) 로드 락 챔버가 포함되어 있습니다. 마지막으로, 최대 속도로 웨이퍼를 안전하게 전송하여 소유 비용을 절감하는 듀얼 암 로봇 (Dual-Arm Robot) 이 있습니다. NOVELLUS Gamma Express etcher/asher는 고급 제어 머신과 여러 기판 처리에 대한 유연성을 갖춘 반도체 생산 환경에 이상적인 도구입니다. 이 제품은 생산성을 높이고 TCO (소유 비용) 를 절감하여 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다.