판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #293642130

NOVELLUS Gamma Express는 반도체 및 유전체 장치 제조에서 임계, 대용량 및 고 종횡비 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 실행하도록 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. 이 최첨단 에칭/애셔 시스템은 다양한 기판 (주로 실리콘 및 기타 반도체 재료) 의 고속, 고정밀 에칭 및 재싱 (뛰어난 처리량, 프로세스 균일성 및 생산량) 을 제공하도록 설계되었습니다. Gamma Express는 고효율 설계로 구성되었으며 원격 플라즈마 기능, 수직 및 측면 방향 프로세스, 선형 RF 및 커패시턴스 재료 호환성, 방사선 감소 엔지니어링, 완전 자동화 기판 처리 장치 등의 기술을 통합했습니다. 이러한 기능은 최적의 에칭 환경을 만들어 수동 처리 (manual handling), 어셈블리 (assembly) 및 제어 (control) 작업과 관련된 위험을 줄입니다. NOVELLUS Gamma Express는 질소 플라즈마 소스로 구동되며, 고강도 플라즈마, 빠른 에칭 속도 및 균질 한 공정을 제공 할 수 있습니다. 원격 플라즈마 소스는 실리콘, 구리, 게르마늄, 티타늄, 알루미늄 및 기타 금속을 포함한 광범위한 물질에 걸쳐 균일 하고 반복 가능한 에치 라인 프로세스를 보장합니다. 이 고급 에치 라인 구성은 기판 재료에 따라 최대 플라즈마 지속 시간 (최대 8 분) 과 최대 식각 속도 (최대 6/분) 를 특징으로합니다. 완전하게 자동화된 기판 처리는 신뢰성이 높고 효율적이며, 수동 처리 (manual handling) 와 부품 입력 (parts input) 을 줄여 빠르고 반복적으로 처리할 수 있습니다. 또한 Gamma Express (감마 익스프레스) 에는 최적의 성능을 위해 도구를 모니터링, 조정, 프로그래밍할 수 있는 고급 내장형 프로세스 제어 머신이 포함되어 있습니다. 이 고급 제어 자산은 4 개의 에칭 및 애싱 프로세스 레시피 (각각 조정 가능한 '에치 레이트 (etch rate)' 매개 변수) 를 제공하여 광범위한 기판 및 재료를 수용합니다. 사용자는 에치 라인 (etch-line) 레시피를 사용자 정의하여 처리량을 높이거나, 프로세스를 특정 레이어 또는 피쳐에 최적화할 수도 있습니다. NOVELLUS Gamma Express는 고정밀, 대형 웨이퍼 스케일 제작 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 고급 에칭/애셔 모델은 또한 일관된 높은 공정 균일성을 제공하여 고수율, 비용 효율적인 장치 제조를 가능하게합니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 오늘날의 고급 반도체 장치 제조 요구 사항에 필요한 안정성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다.