판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #293638919
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NOVELLUS Gamma Express는 전문 반도체 제작 환경에서 사용하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 상용 등급 시스템은 강력하면서도 효율적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 제공하여 프로세스 반복성에 대한 엄격한 제어를 유지하면서 일관성 있고 높은 수율을 제공합니다. Gamma Express는 고해상도 이미징, 고급 모니터링, 다양한 에칭/애싱 헤드를 조합하여 우수한 결과를 제공합니다. 이 장치는 안정성과 처리량을 최적화하는 탁월한 통합형 설계를 제공합니다. 노벨 러스 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 기계의 핵심에는 고급 이미징 도구 (Advanced Imaging Tool) 가 있는데, 이 도구는 높은 해상도와 제어를 제공하여 사용자가 에칭 및 애싱 프로세스를 정확히 파악하고 제어할 수 있습니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 에칭 및 애싱 프로세스를 더 잘 제어하기 위해 레이저 다이렉트 이미징 (laser direct imaging) 과 전자 빔 이미징 (electron-beam imaging) 의 조합을 사용하여 높은 정밀도를 보장합니다. 이 에셋은 원하는 에칭 결과를 정확하게 공략하기 위해 웨이퍼 (wafer) 특성에 따라 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 인식, 모니터링, 조정하여 향상된 수율 및 고품질 표면을 만들 수 있습니다. 이미징 외에도 NOVELLUS Gamma Express에는 최적의 에칭 및 애싱 (ashing) 을 보장하는 다양한 추가 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 향상된 실시간 프로세스 제어 모델 (Enhanced, real-time process control model) 이 포함되어 있어 에칭 및 어싱 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링, 진단 및 조정할 수 있습니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 또한 고급의 폴리머 프리 에칭 헤드 (etching head) 를 특징으로하며, 까다로운 구조를 에칭 및 ashing 할 때 탁월한 선택성과 제어를 제공하며, 수율을 향상시키고 처리량을 높입니다. 노벨 러스 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로세스 성능을 극대화하면서 안정적이고 비용 효율적인 장기 솔루션을 제공하도록 설계된 강력한 장비입니다. 이 시스템은 가장 까다로운 웨이퍼에서도 뛰어난 성능을 제공하는 일관성 있고, 고품질의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 제공합니다. 고해상도 이미징에서 고급 프로세스 제어에 이르기까지, 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 대한 통합적이고 효과적인 솔루션을 제공하는 강력한 장치입니다.
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