판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #293618750
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ID: 293618750
웨이퍼 크기: 12"
Stripper / Asher, 12"
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP Carrier
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft
MDP Power box
External interlocks
MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express
Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft
MKS GHW-50A Generator
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
HI-THLD (XPR type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
(2) Monitors
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
노벨 러스 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 는 다양한 소재에서 박막의 정밀 에칭 및 재시를 제공하기 위해 설계된 최첨단 에칭/애싱 머신입니다. 이 장치는 매우 다재다능하며, 다양한 기판을 처리하고 드라이 에치 (dry etch), 습식 에치 (wet etch), 마스크 없는 석판화 (maskless lithography) 및 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 을 포함한 여러 프로세스를 구현 할 수 있습니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 반도체에서 MEMS 장치에 이르기까지 정확하고 반복 가능한 박막 처리가 필요한 업계에 이상적인 선택입니다. NOVELLUS 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 완전히 조절 가능한 공정 챔버를 갖추고 있으며, 다양한 기판 및 공정 매개변수를 사용할 수 있습니다. 약실은 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위해 온도와 압력을 안정적으로 유지하도록 압력을 가합니다. 2x2mm ~ 5x5mm 범위의 대형 기판 크기를 수용하여 프로세스 처리량을 증가시킵니다. 이 기계에는 또한 일련의 고해상도 디지털 이미지 센서 (digital image sensor) 가 장착되어 있어 프로세스에 대한 피드백 제어를 제공합니다. 통합 프로세스 모듈 (Integrated Process Module) 에는 다양한 프로세스 단계에 제공된 전원을 제어하기 위한 직접 입력이 있으므로 에칭/애싱 깊이 (etching/ashing depth) 및 선택성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 독점적 인 이미지 매트릭스 도량형 시스템 (Image Matrix Metrology System) 이 있으며 에칭 및 애싱 결과를 정확하게 측정하여 실시간으로 측정합니다. 통합 프로세스 소프트웨어는 etch rate, oxide thinning rate, selectivity, uniformity 등 다양한 통계를 제공합니다. Gamma Express는 매우 저렴한 유지 관리 비용과 간편한 서비스 기능을 갖춘 신뢰성 있는 에칭/애싱 머신입니다. 최소한의 운영자 (operator) 교육이 필요한 경우 최소 시간 안에 신속하게 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 모든 자동화 요구 사항을 충족하여 운영 라인에 통합할 수 있습니다. 이 장치는 대형 기판을위한 자동 복용 화학 물질을 포함하여 여러 프로세스를 구동 할 수있는 강력한 PLC (Power PLC) 에 의해 구동됩니다. NOVELLUS Gamma Express는 박막 처리에 이상적인 도구이며, 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 통합 프로세스 소프트웨어는 운영자 오류 없이 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 기계는 높은 처리량을 빠르고 안정적으로 제공하는 동시에 정확한 결과를 제공합니다. 고밀도 에칭 및 애싱 기능을 갖춘 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 박막 처리가 필요한 수많은 산업에 필수적인 도구입니다.
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