판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #293618743
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293618743
웨이퍼 크기: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express는 고성능 집적 회로 생산에 사용되는 etcher/asher 장치입니다. 비정질 실리콘, 폴리 실리콘, 텅스텐, 금, 기타 전도성 재료를 포함한 여러 가지 고급 재료로 다양한 고해상도 마스크, 접촉 레이어, 금속 흔적을 생성 할 수 있습니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 제작에서 중요한 도구이며, 신뢰성이 높은 단기간에 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. Gamma Express의 주요 구성 요소는 메인프레임 및 관련 제어 시스템입니다. 메인프레임에는 실제 에처/애셔 (etcher/asher) 가 있으며, 이는 매우 정확하고 제어 가능한 에치 및 증착 단계를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 압력, 온도, 유지 시간, 에칭 환경 등 다양한 프로세스 조건에서 작동 할 수 있습니다. 또한 다중 에치 사이클 (etch cycle) 이 가능하며 프로토 타입을 위해 광범위한 재료를 정확하게 에칭 할 수 있습니다. NOVELLUS Gamma Express는 검사 및 검증을 위해 정확하고 재현 가능한 이미지를 제작할 수도 있습니다. 이 제품은 비접촉, 비파괴적 (non-contact) 기술을 사용하여 에칭 전에 결함을 감지하는 고급 광 검사 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능은 에칭 (etching) 전에 모든 기능적 문제를 감지하고 에칭 프로세스의 정확성을 보호하는 데에도 사용될 수 있습니다. Gamma Express는 고속, 고성능 및 높은 정확도를 위해 제작되었습니다. ··· 그것 은 매우 높은 증착율 을 달성 하며, 원하는 결과 를 몇 분 내 에 달성 할 수 있다. 이 시스템에는 여러 개의 가스 소스가 있어 에칭 (etching) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 노벨 러스 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 는 고급 제어 기능을 갖추고 있으며 습식 (wet) 과 건조 (dry) 공정 가스를 모두 사용하여 최고 수준의 에칭 정밀도를 허용합니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 인원과 장비 보호를 위한 고급 안전 기능도 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 고급 모니터링 (Advanced Monitoring), 경보 (Alarm) 및 불규칙한 경우 활성화되는 내장 비상 정지 (Emergency Stop) 가 포함됩니다. 요약하면, NOVELLUS 감마 익스프레스 (NOVELLUS Gamma Express) 는 다양한 재료에서 매우 정확하고 재생산 가능한 패턴을 빠르고 안정적으로 생성 할 수있는 고급형 etcher/asher 장치입니다. 초고속과 높은 정확도를 위해 설계되었으며, 인력과 장비를 보호하기 위한 다양한 안전 기능 (Safety Function) 을 갖추고 있다.
아직 리뷰가 없습니다