판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2130 #9282119

NOVELLUS Gamma 2130은 금속, 도자기, 석영 및 유리를 포함한 다양한 기질의 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 은 극저온 냉각 기술과 결합 된 고급 전자 빔 증발 기술을 사용하여 뛰어난 해상도, 균일성 및 반복 성을 가진 에치 및 애쉬 프로파일을 만듭니다. NOVELLUS Gamma 2130은 강력한 컴퓨터 제어 증착 장비를 갖추고 있으며, 이 장비는 최소 열 드리프트로 고속 증착을 달성 할 수 있습니다. 통합 컴퓨터 시스템을 사용하면 온도, 전력, 압력 변화를 모니터링하면서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 자동으로 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 은 재현성이 높은 유연한 레시피 제어를 가능하게하며, 열 드리프트가 낮은 기판에서 정확한 투약 및 균일 한 조성을 가능하게합니다. NOVELLUS Gamma 2130은 밀봉된 챔버로 설계되어 안전성, 프로세스 반복 가능성 및 정확성이 향상되었습니다. 에치/애쉬/증착 매개변수 (etch/ash/deposition parameters) 를 정확하게 제어 할 수 있으며, 각 프로세스는 지속적으로 재료를 전달하도록 독립적으로 제어됩니다. 밀봉 된 챔버 (chamber) 는 또한 균일성 향상을 통해 최적의 프로세스 제어 및 향상된 에치/애쉬 프로파일 (etch/ash profile) 을 위해 다양한 압력으로 다양한 가스를 수용 할 수 있습니다. Gamma 2130은 다중 영역 온도 장치를 갖춘 고로드 용량을 갖추고 있습니다. 이를 통해 커다란 에치 영역 (etch area) 에 대한 더 나은 균일성과 더 나은 열 제어, 프로세스 반복성 및 정확성이 향상됩니다. 또한 재료 증착 속도가 높기 때문에 프로세스 시간이 크게 단축됩니다. NOVELLUS Gamma 2130은 최적의 지형 제어를 위해 입자 생성이 매우 낮은 탁월한 성능과 반복 성을 제공합니다. 즉, 운영 제품군과 자동화된 시스템에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되어 있어 기판을 빠르고 일관되게 준비할 수 있습니다 (영문). 고급 제어기 (Advanced Control Machine) 는 효율적이고 고정밀도 높은 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하여 우수한 품질의 에치 및 애쉬 결과를 제공합니다.