판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2130 #9260075

NOVELLUS Gamma 2130은 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 어플리케이션에 뛰어난 프로세스 기능과 신뢰성을 제공하는 고급 에치/애쉬 도구입니다. 이 제품은 CMOS 구성 프로세스의 요구를 충족할 수 있도록 최적화되어 있으며, 대용량 애플리케이션에 탁월한 기능 제어, 프로세스 균일성, 주기 (cycle) 를 제공합니다. Gamma 2130은 높은 종횡비 처리를 위해 균일 한 4 면 벽 프로파일을 제공하는 고급 3 빔 디자인을 갖추고 있습니다. 안정된 에치/애쉬 성능을 위해 정밀한 빔 배치를 유지하는 독특한 초고속 간섭계를 사용합니다. 이 도구에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기에 걸쳐 프로세스 튜닝을 위한 조절 가능한 슬릿 (slit) 오프닝과 안정적인 뒷면 보호를 위한 고급 드라이 에치 (dry etch) 공정이 포함됩니다. NOVELLUS Gamma 2130은 처리량이 높아 최대 24 시간 동안 무인 작동이 가능합니다. 공장의 다른 기계와의 원활한 통합을 위해 종합적인 로봇 처리를 활용합니다. 내장 센서 및 피드백 제어 루프는 지속적인 성능 모니터링 및 안정성 확인을 보장합니다. 시스템은 고급 진단 기술도 갖추고 있습니다. 프로세스 매개변수 및 시스템 성능에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 향상된 콘솔 디스플레이 (Console Display) 를 제공합니다. 또한 Gamma 2130은 개선된 레시피 및 모델 예측을 위해 균일하지 않은 입력 데이터를 제공합니다. NOVELLUS Gamma 2130은 가장 까다로운 CMOS 제작 프로세스의 요구를 충족하도록 설계된 강력한 에치/애쉬 도구입니다. 탁월한 기능 제어, 프로세스 균일성 향상, 주기 단축 등의 이점을 제공합니다. 이 기계의 고급 3 빔 디자인과 정교한 진단을 통해 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 도구입니다.