판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2130 #293820192

NOVELLUS Gamma 2130은 Oxide, Nitride, Metals 및 Polysilicon의 프로세스 시퀀스에서 작동하는 에칭 및 애셔 장비입니다. 건식 에칭 (dry etching) 과 습식 에칭 (wet etching) 을 포함한 다양한 에칭 프로세스를 사용하여 프로세스 및 재료 제거를 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 아날로그, 디지털, 혼합 신호 전자 제품 등 고품질의 고성능 장치를 반복적으로 생산할 수 있습니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 은 고급 기판 클램핑 장치를 사용하여 웨이퍼 및 기판 재료 처리에 대해 고정밀도, 반복 가능한 등록을 보장합니다. 이 기능은 기판 재료를 손상시키지 않고 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 정확하게 수행되도록 합니다. NOVELLUS Gamma 2130은 또한 추가 자동 설정 (automated setup) 기능과 반복 가능성 검사를 사용하여 일관되게 고품질 결과의 생산을 보장합니다. 기계의 공정 챔버는 고정밀 가스 전달 도구를 사용하여 작동하며 CMP (Chemical Mechanical Polishing) 프로세스뿐만 아니라 산화, 질화물 및 금속 에칭을 가능하게하도록 설계되었습니다. 또한 박막 (Thin-Film) 및 고정밀 (High-Precision) 장치 형상의 제작을 지원하는 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 고급 프로그래밍 가능한 에치 컨트롤러가 있습니다. 이러한 기능 외에도 감마 2130 (Gamma 2130) 은 동시 멀티 에치를 지원하므로 여러 웨이퍼를 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 기능은 운영 속도를 높이고 다운타임을 줄이는 데 도움이 됩니다. 에칭 에셋에는 장비와 인력을 잠재적으로 위험한 상황으로부터 보호하기 위해 여러 가지 안전 기능 (예: 과열 감지, 누출 감지) 이 포함되어 있습니다. NOVELLUS Gamma 2130 (NOVELLUS Gamma 2130) 은 작업을 정확하게 제어 할 수있는 고급 에처 및 애셔 모델입니다. 이 제품은 박막 (Thin-Film) 및 고정밀도 (High-Precision) 장치의 빠르고, 반복 가능하며, 안정적으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 에칭 프로세스, 자동 설정 기능, 안전 기능을 갖춘 감마 2130 (Gamma 2130) 은 에칭 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.