판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2130 #293627328

NOVELLUS Gamma 2130은 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 고정밀 etcher/asher입니다. 완전 자동화된 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 광범위한 프로세스 기능을 제공하며 다양한 웨이퍼 크기로 고성능 장치를 생산할 수 있습니다. 최첨단 PECVD 챔버가 장착되어 있으며 질화물, 옥시 니트 라이드, 폴리 실리콘 필름의 균일 하고 고품질 침전물을 생산할 수 있습니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 에는 레이아웃 디자인을위한 고해상도 이미징 및 패턴 시스템, 정확한 에칭 또는 재싱을위한 정확한 마스킹이 있습니다. 노벨 루스 감마 2130 (NOVELLUS Gamma 2130) 은 두께와 치수가 다른 여러 레이어를 높은 처리율로 배치하거나 에칭 할 수 있습니다. 최대 에치 속도는 1000A/min이며 50mm 웨이퍼가 넘는 균일성으로 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 플랫폼은 반응성 종 농도 및 기질 온도에 대한 비교할 수없는 제어를 제공합니다. 또한, 다양한 증착 및 에칭 응용프로그램을 지원하기 위해 가스배송 (gas delivery) 및 공정 제어 시스템 (process control system) 을 사용하여 구성 할 수 있습니다. Gamma 2130은 최신 기술을 사용하여 제작되었으며 1000mBar의 압력 등급을 받았습니다. 고정밀도 엔드 포인트 모니터링 및 제어 시스템 (End-Point Monitoring and Control System) 을 장착하여 다양한 웨이퍼 크기와 재료에 대한 정확한 도량형 및 프로세스 제어를 보장합니다. 고급 이미징 시스템 (Advanced Imaging System) 및 소프트웨어 설정을 통해 코팅 및 에칭 프로세스의 생산량 및 일관성을 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템은 또한 높은 먼지, 증착 또는 에치 레이트의 성능을 위해 설계되었습니다. 노벨 러스 감마 2130 (NOVELLUS Gamma 2130) 은 내장 안전 메커니즘과 보호를위한 중복 시스템으로 인해 가장 높은 수준의 안전 및 신뢰성을 제공합니다. 비스톱 (nonstop) 을 장기간 실행할 수 있도록 설계되었으며, 원하는 응용 프로그램의 요구에 따라 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 은 모든 반도체 프로세스에 유연하고 안정적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공 할 수있는 강력하고 고급 etcher/asher입니다.