판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2130 #293627326
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ID: 293627326
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130은 높은 생산성 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비의 독보적인 프로세스 기술, 설계, 기능을 통해 저렴한 가격의 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. 감마 2130 (Gamma 2130) 은 고급 기술 노드 프로세스 개발 및 비용 효율적인 제조, 생산 및 유지 관리에 이상적입니다. NOVELLUS Gamma 2130 (NOVELLUS Gamma 2130) 은 소형 설치 공간으로 제작되어 다양한 어플리케이션 요구 사항과 처리량 요구 사항에 적합합니다. 프로세스 챔버는 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 레시피 매개변수를 완전히 제어하여 프로세스 반복 성을 허용합니다. 포탑에는 1 개의 쿼츠 샤워 헤드 (quartz showerhead) 와 1 개의 전자 빔 샤워 헤드 (electron-beam showerhead) 가 장착되어 있어 광범위한 프로세스 옵션이 가능합니다. 이 시스템은 강력한 프로세스 컨트롤러 (process controller) 에 의해 구동되며, 이 컨트롤러는 안정적인 프로세스 환경을 제공하며 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 갖추고 있습니다. Gamma 2130에는 고급 다중 펄스 발전기가 장착되어 있습니다. 이 전원 발전기 (Power Generator) 는 프로세스 챔버에서 열 부하를 자동으로 조정하고 보정하여 일관된 프로세스 창을 제공합니다. 전력 발전기 (Power Generator) 는 또한 최적의 에칭 및 애싱 (ashing) 조건을 자동으로 유지하는 고급 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 프로세스 컨트롤러는 에칭 (etching) 및 애싱 시간, 압력, 온도 등 안정적인 프로세스 매개변수를 보장합니다. NOVELLUS Gamma 2130은 광범위한 공정 화학 물질과 호환되며 단일 또는 멀티 웨이퍼 주사위 (single wafer dice) 와 연동 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 추가 챔버 및 기타 다양한 옵션으로 쉽게 업그레이드 할 수 있도록 설계되었습니다. Gamma 2130은 모든 프로세스 기능에 대한 온라인/오프라인 모니터링 및 제어를 지원합니다. 전반적으로 NOVELLUS Gamma 2130은 다양한 어플리케이션에 효율적인 고성능 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 이 기계의 강력한 프로세스 제어 (process control) 와 정확성 (accurity) 은 개발 프로세스와 생산 프로세스 모두에 이상적인 선택입니다. 또한 고품질 표면 마감으로 균일 한 부품을 생산할 수 있는 안정성, 반복성, 신뢰성을 제공합니다.
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