판매용 중고 NOVELLUS Gamma 2100 #9225554

NOVELLUS Gamma 2100은 반도체 제조에서 얇은 필름의 증착을 위해 특별히 설계된 고정밀 etcher/asher입니다. 다양한 전기 및 광학 장치를위한 멀티 레이어 코팅을 만들기 위해 얇고, 수동화 (passivate) 하고, 기판을 청소하는 데 사용됩니다. 기계는 필요한 처리를 수행하기 위해 뛰어난 정확도의 멀티 헤드 에처/애셔를 사용합니다. 감마 2100 (Gamma 2100) 은 오픈 프레임 설계로 작업 영역의 가시성을 높이고 유지 보수가 용이합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 평균 출력이 최대 200W, 최대 출력이 1000 W인 고급 고 에너지 플라즈마 소스를 가지고 있습니다. 이온을 사용하여 기질 물질과 화학적으로 반응하여 박막을 만듭니다. 에치 속도는 에칭 된 재료의 조성에 따라 0.2 nm/초 ~ 6 nm/초 범위입니다. NOVELLUS Gamma 2100에는 이온 소스 컨트롤이라는 독특한 기능도 있습니다. 이 기능은 기판 균일성을 향상시키기 위해 에치 조건을 최적화합니다. 이를 통해 사용자는 최적의 에칭 결과를 얻기 위해 이온 빔 (ion beam) 의 강도 및 초점을 조정할 수 있습니다. 머신에는 에칭 프로세스가 시작되기 전에 기존 필름을 제거하여 기판을 준비하는 사전 청소 (pre-clean) 기능 (옵션) 도 있습니다. 감마 2100 (Gamma 2100) 은 안정적이고 반복 가능한 박막 증착 결과를 제공하는 데 마땅한 명성을 얻고 있습니다. 그것 은 광다이오드, 커패시터, "트랜지스터 ', 전계효과" 트랜지스터' 등 의 제조 와 같은 광범위 한 응용 에 적합 하다. 이 기계는 산업 응용 프로그램과 학술 연구 및 프로토 타입 (prototyping) 프로젝트에 적합합니다. 하이엔드 구성요소 생산을 위한 효율적이고 경제적인 단계입니다.