판매용 중고 NOVASCAN PSDP-UV #293654207
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NOVASCAN PSDP-UV는 다양한 기질에서 신뢰할 수있는 에칭/애싱 결과를 제공 할 수있는 최첨단 에처/애셔입니다. 정확성과 정확성으로 에치/애쉬 할 수있는 고성능 UV 레이저가 장착되어 있습니다. 이 에처/애셔는 마이크로 일렉트로닉, MEMS 및 나노 스케일 장치의 제작을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. PSDP-UV는 355 nm 파장에서 회절 등급 유도 광대역 초저음 레이저를 사용하여 광범위한 기판을 정확하게 에치/재로 만드는 레이저 기반 에처/애셔입니다. 레이저는 수직 (vertical-cavity) 표면 방출 반도체 구조를 기반으로 한 외부 동굴 다이오드 레이저 (external cavity diode laser) 에서 공급되며, 이는 높은 이득, 높은 정확도, 다양한 주파수 및 펄스 길이에 대한 출력 전력을 생성 할 수 있습니다. UV 레이저의 펄스 반복 속도는 10kHz에서 100kHz로 조정 할 수 있습니다. NOVASCAN PSDP-UV 에처/애셔는 10m가 넘는 깊이를 에칭 및 분쇄 할 수 있습니다. 이 프로세스는 270 nm 미만의 선 너비로 높은 에칭 및 애싱 균일성을 제공 할 수 있습니다. 에칭/애싱 속도는 0.8mm/sec에서 6mm/sec의 범위에서 조정할 수 있습니다. 에칭/애싱 정밀도 (etching/ashing precision) 는 스캐너 컨트롤러에 의해 제어되며, 이를 통해 한 번에 원하는 패턴을 얻을 수 있습니다. PSDP-UV 시스템에는 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 가 장착되어 있어 사용자가 빠르고 쉽게 매개변수를 설정할 수 있습니다. "레이저 '는 다른 깊이 에 집중 되어 원하는" 에칭' 과 "애싱 '효과 를 얻을 수 있다. 스캐닝 메커니즘에는 카메라 시스템 (Camera System) 이 장착되어 있어 공정을 시각화 (Visualization) 하여 정확도가 높은 결과를 얻을 수 있습니다. NOVASCAN PSDP-UV etcher/asher는 컴팩트하고 가벼운 시스템으로, 고성능 및 작동 용이성을 제공합니다. 다양한 기판에서 고수율 에칭/애싱 (eching/ashing) 결과가 필요한 연구 실험실 및 업계 전문가에게 이상적입니다. 또한, 이 장치는 비용 효율적인 현장 서비스/유지 보수 서비스를 제공하여 평생 동안 최적의 성능과 안정성을 보장합니다.
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