판매용 중고 NORDSON VIA-LVO #9217334

NORDSON VIA-LVO (VIA-LVO) 는 실험실에서 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 단순화하도록 설계된 완전 자동화 된 etcher/asher 장비입니다. 이 다용도 시스템 (Versatile System) 은 다양한 애플리케이션에 대해 고해상도 (Fine Resolution) 와 심도 제어 (Controlled Depth) 를 통해 샘플을 에치할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 알루미늄, 티타늄, 탄탈륨 및 기타 금속 및 유전체의 샘플을 에칭하는 데 이상적인 선택입니다. VIA-LVO는 컴퓨터 제어, 다중 챔버, 다중 도구 기계로 최대 4 개의 에칭 샘플을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 작동을 위한 그래픽 인터페이스를 제공하는 외부 컴퓨터 에셋 (external computer asset) 이 포함되어 있습니다. 또한 동작 제어를위한 2 개의 광학 테이블 시스템, 에어로졸 제어를위한 2 개의 필터링 시스템 및 대기 압력 제어를위한 압력 게이지 모델이 포함됩니다. NORDSON VIA-LVO 장비는 최소 1 미크론의 기능 크기로 최대 200um 깊이를 가져올 수 있습니다. 금속 유형에 따라 최대 20 um/minute의 처리량으로 금속 및 유전체 샘플을 에치 할 수 있습니다. 이 시스템은 금속 이방성 (metal anisotropic) 및 등방성 에칭 (isotropic etching) 및 화학 및 플라즈마 에칭 (plasma etching) 을 포함한 다양한 에칭 유형과 함께 사용할 수 있습니다. VIA-LVO 장치는 설치와 작동이 용이하도록 설계되었습니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 에 샘플을 자동으로 로드 및 언로드하기 위한 로드/언로드 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 또한 조정 가능한 프로세스 매개변수 (process parameters) 와 가스 압력 (gas pressure) 을 가지고 있어 특정 응용 프로그램의 특정 요구에 맞게 에칭 프로세스를 사용자 정의합니다. 또한, 에칭 챔버에서 원치 않는 입자를 제거하는 독립된 안개 제거기가 포함되어 있습니다. NORDSON VIA-LVO는 에칭 할 재료에 따라 ICP, TAB, CVD 및 RIE와 같은 다양한 에칭 도구로 구성 할 수 있습니다. 자산은 또한 자동 가스 차단 모델, 비상 안전 차단 밸브, 기기를 폭발로부터 보호하기 위한 차동 압력 게이지 (differential pressure gege) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. VIA-LVO etcher/asher는 광범위한 재료의 정밀 에칭 및 재싱에 적합한 선택입니다. 설치 작업이 간편하고, 에치 (etch) 품질과 정확성이 우수하며, 운영자의 안전성을 보장하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 광범위한 기능을 갖춘 NORDSON VIA-LVO는 금속, 유전체 및 기타 재료의 정밀 에칭 및 재싱에 이상적인 시스템입니다.