판매용 중고 NORDSON MARCH X-TRAK #293608227

ID: 293608227
빈티지: 2005
Plasma cleaners 2005 vintage.
NORDSON MARCH X-TRAK은 웨이퍼 레벨 장치 테스트 및 제작을 위해 설계된 자동 에칭/애쉬 처리 플랫폼입니다. 듀얼 헤드 디자인의 NORDSON MARCH XTRAK은 속도 및 정밀도 향상, 단일 플랫폼에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 모두 수행할 수있는 유연성을 제공합니다. X-TRAK (X-TRAK) 에는 전용 에칭 헤드와 하단 암이있는 상단 암이 있으며, 각각 자체 원격 제어 기동 장비가있는 애싱 헤드 (ashing head) 가 있습니다. 이렇게 하면 시스템 전면에 있는 조이스틱 (joystick) 을 사용하여 X, Y 또는 Z 축의 웨이퍼 또는 고정장치를 정확하게 이동할 수 있습니다. XTRAK은 (는) 데이터 입력 및 프로그래밍을 위해 외부 PC에 인터페이스되며, 추가 장비에도 연결할 수 있습니다. 스테인리스 스틸 및 기타 재료로 제작 된 NORDSON MARCH X-TRAK는 인클로저 내에 밀봉된 비활성 대기를 가지고 있어 화학 물질의 안전한 처리를 보장합니다. 이것은 독특한 반밀폐 루프 가스 전달 장치 및 자동 샘플링을 통해 가능합니다. O2, N2 또는 Ar 제어 기계는 광범위한 재료에 대한 다양한 에칭 및 애싱 가스를 수용 할 수 있습니다. 에칭 작업을 수행 할 시간이면 NORDSON MARCH XTRAK의 에칭 헤드가 사용됩니다. 조정 가능한 매개변수가 있는 두 개의 표준 옵션 (적절한 에치 속도, 온도, 깊이) 을 선택할 수 있습니다. 에칭 헤드에는 자동 입자 필터링 도구 (automatic particle filtering tool) 가 장착되어 있어 깨끗한 작업 환경을 유지할 수 있습니다. X-TRAK의 애싱 헤드 (ashing head) 는 적외선 가열을 사용하여 열을 과도하게 사용하지 않고 빠르고 효율적으로 연관 또는 코팅 표면을 사용합니다. 이것 은 처리 하는 물질 에 맞춘 조절 속도 로 행해지며, 지나친 난방 으로 인한 잠재적 인 파괴 를 제거 한다. "뉴우요오크 타임즈" 지는 이렇게 보도 한다. 마지막으로, XTRAK (내장 안전) 기능은 사용자와 기술자가 유해 물질과 접촉하지 않도록 보호합니다. 예기치 않은 사건 들 이 발생 할 경우 에는 자동 "쇼오프 '가, 자산 이 열릴 때 활성화 되는 진공 방아쇠 (vacuum trigger) 는" 모델' 에 존재 하는 위험 물질 들 을 안전 하게 추출 할 수 있게 해 준다. NORDSON MARCH X-TRAK은 대용량 에칭 및 애싱 요구 모두에 이상적인 선택입니다. 자동화되고, 완벽하게 프로그래밍이 가능한 플랫폼을 통해, 다양한 Wafer 수준의 처리 요구 사항을 충족하는 효율적이고, 안전하며, 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.
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