판매용 중고 NORDSON MARCH ProVIA #9374850

NORDSON MARCH ProVIA는 반도체 및 광전자 처리를 위해 설계된 건식 습기 기계입니다. ProVIA는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 유리 (glass) 까지 광범위한 재료의 깊은 에칭, 평면 화 및 패턴화에 사용됩니다. 낮은 입자 환경, 진공 환경 및 높은 처리 능력이 있습니다. NORDSON MARCH ProVIA는 안정적이고 정밀도가 높은 장비입니다. 다양한 어플리케이션에 맞게 구성할 수 있으며, 튜닝 가능한 RF 전원 공급 장치, 진공실 (vacuum chamber) 등이 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소는 프로세스 챔버, 로드/언로드 모듈, RF 유도 전원, 보조 하드웨어 및 프로세스 제어 시스템입니다. ProVIA의 공정 챔버에는 편의를 위해 40 개의 열린 포트와 5 개의 샘플 세트가 장착되어 있습니다. 평면 화에서 탁월한 균일성을 제공하여 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 등온 온도 제어 장치는 기질에서 최대 800 ° C의 온도 조절을 제공합니다. 또한 불균일 한 가스 분배기 (gas distribution machine) 가 있는데, 이 기계는 기판 전체에 걸쳐 긴 공정 시간과 균일 한 에칭 속도를 제공합니다. NORDSON MARCH ProVIA의 RF 전원 공급 장치는 많이 적재 된 웨이퍼를 처리 할 때에도 안정적으로 유지됩니다. 고급 RF 제어 도구는 오버 슈트 (overshoot) 및 히스테리시스 (hysterisis) 와 같은 여러 튜닝 매개 변수를 제공하여 프로세스 균일성 및 에치 속도를 완벽하게 제어합니다. 에셋은 또한 높은 정확도 모니터/허용 모델 (Model/Allow Model) 을 제공하여 사용자가 실시간으로 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. ProVIA는 또한 빠른 처리 시간을 위해 설계되었으며, 처리 주기는 30 초에 불과합니다. 저가의 유지 보수 서비스를 제공하며, 대부분의 모듈과 부품을 쉽게 교체할 수 있습니다. 효율적이고 인체 공학적으로 친화적이며, 최소 운영 공간이 필요합니다. 빠른 처리 시간 (processing time) 및 다중 샘플 세트 (multiple set) 를 통해 처리량이 많은 애플리케이션에 적합합니다. 노드슨 3 월 프로 비아 (NORDSON MARCH ProVIA) 는 광범위한 재료를 통해 깊은 에칭, 평면 화 및 패턴 적용을위한 포괄적이고 신뢰할 수있는 드라이 에치 솔루션입니다. 뛰어난 균일성, 긴 처리 시간, 빠른 처리 시간, 반도체 및 광전자 처리에 이상적인 선택입니다.