판매용 중고 NORDSON / MARCH MaxVIA #9397009

NORDSON/MARCH MaxVIA는 반도체 포장, 마이크로 전자 및 관련 산업을 위해 설계된 고급 자동 에처 및 애셔 장비입니다. 고급 플라즈마 에칭을 사용하여 박막 기판에서 정확한 기능을 생성합니다. MARCH MaxVIA는 Nordsom의 유명한 MaxFlex Plasma System의 확장 버전으로, 에치 속도가 증가하고 기능 정확도가 우수합니다. NORDSON MaxVIA는 생산 용도로 설계된 고해상도 플라즈마 에칭 장치를 갖추고 있습니다. 포토 esist, SiO2, Si3N4 및 Quartz를 포함한 다양한 재료에서 여러 레이어를 가져올 수 있습니다. 고급 플라즈마 소스는 2 개의 평면 패널 플라즈마 소스로 구성되어 있으며, 높은 처리량과 높은 에치 속도를 가진 미세 구조 및 회로를위한 제어 가능한, 집중식, 딥 에칭 플라즈마를 제공합니다. 이 기계에는 여러 가지 지능형 설계 기능 (예: 고급 피드백 제어 도구) 이 포함되어 있어 높은 에치 (etch) 균일성과 반복성이 보장됩니다. 통합 광학 스캐닝 (Optical Scanning) 기능을 통해 시퀀스 간의 오정을 크게 줄여 정확한 기능 등록 및 패턴 정확성을 제공합니다. MaxVIA는 또한 정적 청결 센서가 장착 된 완전, 통합, 스테인리스 스틸 진공 챔버, 전기 기계 인터 록 (interlock) 이 장착 된 강력한 진공 잠금 장치 등의 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 이는 운영자의 안전을 보장하고 깨끗한 오염 없는 기판 처리 환경을 제공합니다. NORDSON/MARCH MaxVIA 는 수동 (manual) 또는 완전 자동 (fully automatic) 모드로 작동할 수 있으므로 운영 요구에 가장 적합한 처리 구성을 선택할 수 있습니다. 또한 선택적 (optional) 로봇 사전 정렬 에셋이 있으며, 이를 통해 소스 및 대상 위치에 대한 정확한 배치를 위해 여러 기판을 모델에 로드할 수 있습니다. 3 월 맥스비아 (MaxVIA) 는 마이크로전자, 반도체 포장 업계의 고정밀 구조, 특징, 회로 생산에 필요한 고급 에칭 및 애싱 시스템을 위한 강력하고, 안정적이며, 유연한 솔루션입니다. 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System), 자동 제어 기능 (Automatic Control Features) 및 인체 공학적 (ergonomic) 설계는 효율적이고 안전한 생산 환경을 제공하여 사용자에게 많은 이점을 제공합니다.