판매용 중고 NORDSON / MARCH MaxVIA #9314778
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ID: 9314778
빈티지: 2017
Plasma treatment systems
(15) Processing cells
Control system: PLC, Touch screen interface
RF Power: 10kW
2017 vintage.
NORDSON/MARCH MaxVIA는 대용량, 정밀 에칭 및 웨이퍼 및 기판의 재싱에 사용되는 고급 자동 Etcher/Asher입니다. MARCH MaxVIA는 다양한 재료를 처리하면서 빠르고 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 프로세스는 NORDSON MaxVIA의 사용자 친화적 인 전송 스테이션 (wafer for process) 에 웨이퍼를 로드하는 것으로 시작합니다. MaxVIA는 웨이퍼 처리 시스템, 바운스 방지 서스펜션 (anti-bounce suspension), 웨이퍼 중심 장치 (wafer centering unit) 및 안전한 작동과 환경을 보호하기 위해 설계된 비활성 가스 퍼지 (inert gas purge) 를 포함한 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. NORDSON/MARCH MaxVIA는 각각 최대 400W의 전력을 공급할 수있는 2 개의 독립 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 이상적인 프로세스 온도를 달성하여 각 프로세스 배치에 걸쳐 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 정교한 프로세스 제어 시스템으로 설계되었으며, 이는 프로그램 사이클 시간을 생성하고 온도, 압력, 가스 흐름 속도와 같은 매개 변수를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 엔지니어는 각 프로세스의 레시피를 사용자 정의하고, 에치 (etch) 및 애싱 속도, 온도, 가스 혼합물 및 기타 매개변수를 설정하여 원하는 결과를 생성할 수 있습니다. MARCH MaxVIA는 또한 2 개의 독립적으로 통제 된 공정 챔버를 제공하여 웨이퍼를 동시에 에치 및 재싱합니다. NORDSON MaxVIA (NORDSON MaxVIA) 의 정확하고 반복 가능한 결과는 유지 보수 비용이 낮기 때문에 대용량 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 연산자는 PC 또는 스마트폰을 통해 원격으로 프로세스 챔버 (Process Chamber) 에 액세스할 수도 있으며, 사용자가 임의의 위치에서 레시피를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로 MaxVIA는 강력하지만 사용자 친화적 인 Etcher/Asher가 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. 안전 (Safety) 기능은 안전한 운영 환경을 보장하는 반면, 프로그래밍 가능한 매개변수와 여러 챔버는 효율성과 정밀도를 더욱 높입니다.
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