판매용 중고 NORDSON MARCH FlexTRAK #9299708

NORDSON MARCH FlexTRAK는 새로운 에칭, 청소 및 세척 프로세스의 연구, 개발 및 테스트를 위해 설계된 고급 에칭 또는 에칭/세탁용 플랫폼입니다. 에치 깊이, 에치 타임, 에치 오염, 에치 결함, 에치 속도에 대한 정확한 조정 및 제어를 위해 다양한 공정 화학 물질을 처리 할 수 있습니다. MARCH FlexTRAK는 에치 원자로 가압, 웨이퍼 전열 시스템, 플라즈마 가스 흐름, 전극으로의 전력 전달, 조정 가능한 RF 와트 및 조절 가능한 에치 용액 볼륨을 포함한 모든 에칭 매개변수를 제어합니다. NORDSON MARCH FlexTRAK 플랫폼은 최적의 에칭 결과를 위해 모든 매개변수를 정확하게 제어하는 응용 프로그램 전용 레시피를 만드는 데 사용될 수 있습니다. FlexTRAK은 혁신적이고 사용하기 쉬운 설계에서 다양한 공정 화학을 지원합니다. 에치 공정 화학 물질 (etch process chemistries) 은 완전히 모듈화되어 있습니다. 즉, 에칭 과정에서 사용자가 화학 물질을 추가하거나 제거 할 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 공정 "레시피 '를 개발 할 때 특히 유용 하다. NORDSON MARCH FlexTRAK는 단일 챔버 진공 에처/와셔, 다수의 통합 공정 챔버 및 전체 에칭, 청소 및 건조 과정을 제어하는 디지털 터치 스크린 컨트롤 패널로 구성됩니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 는 고주파 전원 공급 장치로 구동되어 에치 속도 (etch rate) 및 에치 깊이 (etch depth) 를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 에는 기판 표면에 균일 한 에칭을 보장하기 위해 내장 수분 센서가 포함되어 있습니다. 통합 공정 챔버 (integrated process chamber) 는 새로운 레시피를 개발하고, 청소 및 에칭 후 프로세스를 허용하며, 최적화된 에칭 환경을 제공하기 위해 조정 가능한 공정 화학 물질을 혼합하여 제공합니다. 내장 센서 및 제어 시스템은 최적의 에칭 프로파일을 보장합니다. 마지막으로 FlexTRAK 는 모든 에칭 매개변수를 관리할 수 있는 강력한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 제어판에서는 에치 깊이, 에치 시간, 온도, 가스 흐름, RF 에너지 등 모든 에칭 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 고급 모델링 및 데이터 수집 (Data Collection) 기능을 통해 고유한 에칭 프로세스를 정확하게 개발할 수 있습니다. 또한, MARCH 소프트웨어 제품군은 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스를 단일 애플리케이션 내에 쉽게 통합하여 프로세스 개발을 간소화합니다. 요약하면, NORDSON MARCH FlexTRAK은 강력한 에칭, 클리닝 및 세척 플랫폼으로, 사용자 친화적 인 컨트롤, 광범위한 프로세스 화학 물질, 조정 가능한 에치 매개변수, 에칭 프로세스에 대한 정확한 제어를 위한 통합 센서 및 진단 어레이를 제공합니다. 사용이 간편한 컨트롤과 강력한 기능을 통해 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션에 이상적인 플랫폼이 됩니다.