판매용 중고 NORDSON MARCH FlexTRAK #293798779

NORDSON MARCH FlexTRAK는 고속 웨이퍼 처리를 위해 설계된 최대 성능 etcher/asher입니다. FlexTRAK 디자인은 적은 설치 공간과 낮은 소유 비용을 제공합니다. 특허를 획득한 Q-2 기술을 활용하여 탁월한 성능을 제공합니다. 이 장비는 35 ° C ~ 150 ° C 범위의 고정 온도로 설계되어 광범위한 웨이퍼 (wafer) 어플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 또한 가스 -1 (gas-1) 또는 가스 믹스 제어 (gas mix control) 를 제공하여 다양한 에치 및 애싱 온도에서 처리하기위한 유연성을 제공합니다. NORDSON MARCH FlexTRAK는 자체 포함 진공 장치를 사용하여 설계되어 사내 진공 펌프 없이 작동 할 수 있습니다. 이렇게 하면 보다 효율적인 프로세스를 통해 처리 시간과 전력 소비를 줄일 수 있습니다. 기계는 또한 가스 배기 (gas exhaust) 기능을 갖추고 있으며, 과도한 가스와 미립자를 안전하게 방출 할 수 있습니다. 플렉스트랙 (FlexTRAK) 은 탈착식 커버로 구성되며, 인테리어 가스 패널 및 아이솔레이터 (isolator) 를 빠르게 액세스하여 다른 에치 및 애싱 작업에 대한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 가변 속도 컨베이어 툴 (variable speed conveyor tool) 은 다양한 프로세스 속도를 가능하게 하며, 이는 저용량 및 대용량 애플리케이션에 모두 적합합니다. NORDSON MARCH FlexTRAK 는 또한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 고급 배관 및 진단 기능을 통해 생성 및 스토리지 설정에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 GUI 는 etch 및 ashing 속도, wafer 크기, 기타 애플리케이션별 설정 등과 같은 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있는 수단을 제공합니다. FlexTRAK 은 하이엔드 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 경제적인 솔루션으로, 소규모 및 대규모 생산에 적합한 설계입니다. 가변 속도 컨베이어 에셋 (Conveyor Asset) 과 고급 GUI (Advanced GUI) 는 작동하기 쉬운 모델에서 최대의 제어 및 유연성을 제공합니다. 장비는 향후 요구 사항과 프로세스 응용프로그램을 수용할 수 있도록 손쉽게 확장할 수 있습니다.