판매용 중고 NORDSON / MARCH FasTRAK #293639143

NORDSON/MARCH FASTRAK은 운영자 개입 없이도 기판을 빠르고 정확하게 에칭 및 애싱 할 수 있도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 온도와 압력 제어, 정밀 패턴 제어, 완전한 프로세스 엔클로저 (process enclosure) 를 제공하는 완전 자동화된 독립형 장치입니다. 이 장치는 Micromachining, Semiconductor Manufacturing, Medical Device Manufacturing 등을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합합니다. MARCH FasTRAK 에처/애셔 머신은 기판을 빠르고 정확하게 처리하기 위해 간단하지만 강력한 플랫폼을 제공합니다. 이 도구는 기판을 에치 앤 애싱 (etch and ashing) 하는 데 소요되는 시간을 줄여 제품 생산량 증가, 프로세스 재생성 향상, 프로세스 제어 향상 등을 위해 설계되었습니다. 이 자산에는 혁신적이고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스가 포함되어 있으며, 설치와 레시피 관리를 단순화하는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이 모델은 강력하고 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 기술을 사용하여 기판을 정확하고 정확하게 처리합니다. 이 장비에는 건식 에칭, 습식 에칭, 플라즈마 에칭 및 플라즈마 클리닝 (옵션) 을 포함한 3 가지 프로그래밍 가능한 에칭/애셔링 시설이 있습니다. 이 시스템은 또한 DRIE (Deep Reactive Ion Etching), ICP (Inductively Coupled Plasma Etching), CMP (Chemical Mechanical Polishing) 등을 포함한 다양한 고급 에칭 기능과 프로세스를 제공합니다. NORDSON FASTRAK etcher/asher 장치는 효율적이고 재생 가능한 에칭/애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 무접촉 리소그래피, 고급 광학 장치 제작, 사진 마스크 제작 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 도구를 사용하면 각 협업공간 내에서 매개변수를 구성할 수 있으므로 원하는 에칭/어싱 (etching/ashing) 결과가 달성됩니다. 또한, 에셋은 프로세스 레시피를 저장 및 회수하는 기능을 제공하여, 사용자가 다른 기판에 대한 매개변수 세트를 신속하게 회수할 수 있도록 합니다. FasTRAK 에처/애셔 (echer/asher) 모델에는 직원 보호를위한 연동 장비와 방출 제어를 위한 스크러버를 포함한 고급 안전 기능도 있습니다. 이 시스템은 etching/ashing 프로세스 동안 직원이 안전하게 유지되도록 Class 1, Division 1 케이스로 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 입자 유형, 크기, 농도를 제어하여 공정 중에 방출되는 유해 입자를 제어하고 안전한 수준으로 방출 할 수 있습니다. 전반적으로 NORDSON/MARCH FASTRAK etcher/asher 장치는 운영자 개입이 없어도 기판을 빠르고 정확하게 에칭 및 세척하도록 설계된 강력하고 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 툴은 사용자 친화적인 인터페이스, 고급 기능, 강력한 안전 기능 (Safety Features) 을 제공하여 다양한 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 어플리케이션에 적합합니다.