판매용 중고 NORDSON / MARCH AP-600 #9182457

NORDSON/MARCH AP-600 (NORDSON/MARCH AP-600) 은 생산성과 프로세스 정확도를 최고 수준으로 높이도록 설계된 컴팩트하고 고품질 에칭 및 애싱 장비입니다. 직관적인 설계를 통해 다른 프로세스 단계 (process steps) 간에 매우 빠른 전환 (changeover) 이 가능하므로 광범위한 웨이퍼 처리 요구 사항에 이상적입니다. 3 월 AP-600 의 고급 유연한 설계는 집적 회로 제작 (integrated circuit fabrication) 에서 의료 기기 연구 및 개발 (medical device research and development) 에 이르기까지 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합합니다. NORDSON AP-600 (NORDSON AP-600) 은 최고 수준의 정밀도 및 엔지니어링으로 설계되었으며 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 고해상도 사용자 인터페이스 (Advanced, High-Resolution User Interface) 가 장착되어 있어 공정을 빠르게 안내하고, 높은 에치 속도와 균일한 입자 분포를 보장하는 가열 된 기판을 제공합니다. 또한, 이 장치는 프로그래밍 가능한 램핑 속도 머신 (ramping speed machine) 을 갖추고 있으며, 시간 또는 정확성을 희생시키지 않고 최적의 결과를 얻을 수 있도록 에치 레이트를 변경할 수 있습니다. 또한 AP-600에는 통합 DLC (Dynamic Leveling Control) 기능이 포함되어 있어 입자 흐름 및 분배를 독립적으로 제어할 수 있으며, 세밀한 선 패턴에 완벽한 에치를 만들 수 있습니다. 또한 NORDSON/MARCH AP-600 구성을 사용하면 다운 스트림 플래튼 기울기 (tilt of the downstream platen) 를 프로그래밍할 수 있으며, 다른 프로세스 단계를 수행할 때 보다 정확한 재료 제어 및 이중 챔버 에치 구성을 사용할 수 있습니다. 또한이 도구에는 금속 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 기능과 반자동 기판 로딩이 장착되어 있습니다. MARCH AP-600은 2 개의 개별 플라즈마 소스 (하나는 에칭 용, 하나는 애싱 용) 로 설계되었으며, 사용자는 동시에 2 개의 다른 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 플라즈마 소스는 온보드 가스 피드백 (on board gas feedback) 자산을 통해 자동으로 조정되어 각 응용 프로그램에 대한 최적의 플라즈마 구성을 보장합니다. 이 모델에는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 부산물을위한 진공 대피소 (vacuum evacua tor) 와 진공 라인에 통합 된 높은 정확도의 디지털 질량 흐름 컨트롤러가 장착되어 있습니다. NORDSON AP-600은 강력하고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 장비로, 사용자가 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 3 월 (MARCH) 팀의 탁월한 고객 서비스와 지원을 받아 사용자에게 안심하고 가치를 부여합니다.