판매용 중고 NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924

MARCH AP-600/300은 반도체 산업에서 사용하기 위한 에처/애셔입니다. 초정밀도 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 컴포넌트의 생산을 위해 설계되었습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 최대 10-6 torr의 진공 기능을 특징으로하여 사용자가 오염 또는 결함의 위험이 최소화되어 물질을 기판에 정확하게 배치 할 수 있습니다. 에처/애셔는 또한 600에서 300kHz 사이의 주파수를 갖는 이중 주파수 플라즈마 발전기 (dual frequency plasma generator) 를 특징으로하며, 최대 15KW의 최대 지속 전력을 가진 고 이온 밀도 프로세스를 만듭니다. NORDSON AP-600/300에는 디지털 터치 스크린 컨트롤러가 장착되어 있어 etcher/asher 기능을 사용하기 쉽고 직관적으로 제어할 수 있습니다. 사용자는 CF4, CF2Cl2, LASMA, N2O, O2, H2 등 필요한 etch 프로세스 유형을 선택할 수 있으며, 각 프로세스에 대한 전원 및 압력 설정이 자동으로 조정됩니다. 광범위한 매개변수 설정을 프로그래밍하여 에치 레이트 (etch rate) 및 기타 프로세스 변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. NORDSON/MARCH AP-600/300에서 제공하는 정밀 에칭 및 애싱은 고정밀 V 홈, 상호 연결, 게이트 에치 및 스루 홀을 포함한 반도체 구성 요소 생산에 이상적입니다. 폴리실리콘, 알루미늄, SiO2, Si3N4 및 결합 레이어를 포함한 광범위한 재료에 대해 X-Y 평면에서 에칭/애싱 프로세스를 정확하게 오프셋 할 수 있습니다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 범용 프로그래밍 템플릿 세트, 다양한 프로세스별 샘플 트레이, 여러 자동 로드 및 언로드 암을 포함한 다양한 액세서리와 호환됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 왜곡이없는 이미징 시스템을 갖추고 있으며, 사용자가 처리되는 기판에 대해 명확하고 상세한 보기를 제공합니다. 전반적으로 MARCH AP-600/300은 정밀 반도체 생산 응용 분야에 적합한 에처/애셔입니다. 광범위한 프로세스 설정, 자동 로드/언로드 암 (automated loading/unloading arm), 왜곡 없는 이미징 시스템 (distortion-free imaging system) 을 갖춘 이 echer/asher는 가장 복잡한 에칭 및 애싱 요구 사항의 요구를 충족하도록 설계되었습니다.