판매용 중고 NORDSON MARCH AP-300 #293652419

NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher는 반도체 웨이퍼, MEMS 및 Si, SiO2 및 SiN과 같은 기타 기판 재료를 에칭 및 세척하기위한 효율적이고 빠르게 작동하는 벤치 탑 증기 에치/애쉬 장비입니다. MARCH NORDSON MARCH AP 300 etcher/asher는 오프사이트 연구 및 프로토 타입 샘플을 처리하기에 이상적인 기계입니다. 오븐 에치/애쉬 (oven etch/ash) 시스템의 효율성과 습식 에찬트의 다재다능성을 결합합니다. MARCH AP-300 Etcher/Asher는 NORDSON MARCH E100 플랫폼을 기반으로하며 장치가 제공하는 다양한 프로세스 때문에 연구 개발 조직에 적합합니다. 3 월 AP 300은 스테인리스 스틸 벨 항아리 인클로저 (stainless steel bell jar enclosure) 를 사용하여 최대 200mm 직경의 샘플을 처리 할 수 있으며, 최대 29.5 "Hg 진공 압력을 생성 할 수 있습니다. 이것은 로드 잠금 (load lock) 또는 베이크 스테이션 (bake station) 없이 샘플을 균일하고 반복 가능한 에칭 및 재싱을 제공합니다. 단일 순환 프로세스 컨트롤러는 챔버 온도 및 압력을 제어하는 데 사용됩니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 갖춘 컨트롤러는 최신 마이크로프로세서 (microprocessor) 기술을 사용하여 사용자 정의/반복 가능한 프로세스를 제공합니다. MARCH NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher에는 운영자 인터 록, 비상 차단, 본드 브레이커 및 진공 모니터링과 같은 안전 기능도 장착되어 있습니다. 효율적인 재싱을 위해 MARCH NORDSON MARCH AP 300은 플래핑 게이트 밸브를 사용하므로 전면 재와 후면 재 사이를 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. 통합 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 와 레벨 지원 머신을 갖춘 척 (chuck) 은 안전한 에치 환경을 보장하여 일관된 결과와 반복 가능성을 제공합니다. MARCH AP-300에는 다양한 레시피 편집 옵션이 제공됩니다. 미리 정의된 위상 매개변수를 사용하여 압력, 시간, 온도, 흐름 수량을 설정하여 프로세스 레시피를 생성할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 사용자는 프로세스를 요구 사항에 맞게 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. MARCH AP 300에는 특허를받은 NORDSON MARCH 무기 산화물 제거 (M-IOR) 도구가 제공됩니다. 이 자산은 습기 층을 퇴적시키는 데 시간을 낭비하지 않습니다. 완벽한 산화물 접착과 에칭을 보장합니다. 전반적으로 NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher는 반도체, MEMS 및 기타 기판 처리에서 탁월한 정확성과 일관성을 제공하는 고급 벤치 탑 에칭 및 애싱 모델입니다. 사용자 지정 및 반복 가능한 프로세스로 인해 연구/개발 조직에 이상적인 장비가 됩니다.