판매용 중고 NORDSON MARCH AP-1000 #9156324
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판매
ID: 9156324
빈티지: 2012
Plasma cleaning system
PLC Controller with touch screen
Graphical interface
Real time process representation
Part carriers either direct or downstream plasma mode
Automatic impedance RF generator: 13.56 MHz
Proprietary software control system
Production data for statistical process control
Effective footprint:
Clearances:
Right, Left: 153 mm (6 in)
Front: 680 mm (26.8 in)
Back: 483 mm (19 in) Minimum
Chamber:
Dimensions: 457W x 610D x 457H mm (18W x 24D x 18H in)
Volume: (127) Liters (7776 in³)
Variable electrode configurations:
Direct
Downstream
HTP Wide
HTP Narrow
(14) Shelf positions
Shelf pitch:
25.4mm (1 in) for 600W
50.8mm (2 in) for 1000 W
Electrodes:
Powered electrode dimensions :
349W x 425D mm (13.74 W x 16.73D in)
Ground (perf.) electrode dimensions:
384W x 425D mm (15.1W x 16.73D in)
Floating shelf dimensions:
349W x 425D mm (13.74W x 16.73D in)
RF Power:
Standard wattage: 600W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
(4) MFCs
Remote interface:
Software controls:
Plasma link
Process link
Vacuum pump:
Standard vacuum pump:
50 CFM (50 / 60Hz)
Wet pump with oil mist eliminator
Facilities:
Power supply
220V, 25A, 50/60 Hz, 3 phase, 8AWG, (4) Wires
380V, 25A, 50/60Hz, 3 phase, 8 AWG, (5) Wires
Process gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purge gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Pneumatic valves fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purity:
Industrial grade nitrogen or CDA
Industrial grade or better
Pressure and flow:
Regulated from 0.69bar (10PSI) min. to 1bar (15PSI) max
Regulated from 2bar (30PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
Regulated from 3.4bar (50PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
CDA
Oil free
Dewpoint: <=7°C /45°F
Particulate size: <5 Micron
Exhaust:
OD Pipe flange: 38mm (1.5 in.)
Compliance:
SEMI: S2, S8, E10
International: CE Marked
Ancillary equipment:
Gas generators
Nitrogen
Hydrogen
Facilities modules:
Oil filtration
Chiller
Scrubber
Currently installed
2012 vintage.
Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000은 높은 처리량 재료 처리를 위해 설계된 정밀 에처/애셔입니다. NORDSON MARCH AP 1000은 PVD (Physical Vapor Deposition) 기술을 사용하여 물질을 높은 정확도로 기판의 표면에 배치합니다. 이 프로세스는 회로 (circuit) 패턴을 만들고, 보호 금속화 계층을 배치하며, 다양한 제조 기술을 제공하는 데 이상적입니다. AP-1000은 도자기, 전기 도금 염기 재료, 석영, 반도체 웨이퍼 및 기타 다양한 재료를 포함한 다양한 기판을 지원할 수 있습니다. AP 1000은 증착 공정을 위해 동봉 된 챔버와 유해 가스 대피를위한 스테인레스 스틸 벤트 (옵션) 를 갖추고 있습니다. 동봉된 챔버 (camber) 는 증착 과정이 차폐되어 프로세스 압력을 제어하고 오염을 방지하는 효과적인 수단을 제공한다. 챔버에는 조절 가능한 압력 흐름 제어 밸브 및 조절 가능한 온도 및 압력 센서가 장착되어 있습니다. NORDSON MARCH AP-1000에는 밀링 기능, 와이어 피더, 저항 에칭 장치 등 다양한 에칭 및 애싱 도구가 장착되어 있습니다. Nordsom March NORDSON MARCH AP 1000은 최고의 정밀 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. 이 시스템은 자동화되고, 반복 가능하며, 재생성이 뛰어난 고속 증착 (high-rate deposition) 프로세스를 위해 설계되었으며, 강력한 인체 공학 제어 시스템에 의해 최적화되었습니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 메뉴와 프로세스 매개변수 그래픽 디스플레이 (graphical display of process parameters) 를 통해 다양한 프로세스를 쉽게 프로그래밍할 수 있도록 합니다. 이 소프트웨어에는 복잡한 증착 레시피를 설정하기위한 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 도 있습니다. Nordsom March AP-1000은 다양한 기판을 지원할 수 있으며, 특정 응용 프로그램의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 동봉 된 챔버 디자인은 안전하고 통제 된 증착 과정을 보장하며, 조절 가능한 압력 흐름 제어 밸브는 정확성과 반복 성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, AP 1000 은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행하기 위한 다양한 도구를 갖추고 있으며, 강력하면서도 접근하기 쉬운 제어 시스템은 초보 사용자에게도 사용하기 쉽습니다. Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000은 정확한 재료 처리에 완벽한 도구입니다.
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