판매용 중고 NORDSON MARCH AP-1000 #293771112

NORDSON MARCH AP-1000 Plasma Asher는 NORDSON MARCH에서 제공하는 Plasmatech ™ 에칭 장비이며 다양한 기판 재료의 높은 처리량 생산을 위해 설계되었습니다. NORDSON MARCH AP 1000은 고유 한 플라즈마 감소 압력 (PRP) 챔버를 기반으로하는 단일 챔버 시스템으로, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 과 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 모두 갖추고 있습니다. AP-1000 은 가장 높은 반복 가능성과 최고의 정밀도로 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 고도의 고급 기술 호스트가 완비되어 직경 12 인치 (304.8 mm) 의 기판을 처리 할 수 있으며, 최대 종횡비는 10: 1입니다. AP 1000은 극도로 균일 한 에치 깊이와 기능 크기 (약 1µm) 를 생성 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 튜닝 도구, 가변 챔버 온도 조절 자산, Windows 기반 GUI를 통해 탐색되는 컴퓨터 (컴퓨터) 등 다양한 기능과 기능이 함께 제공됩니다. 또한 NORDSON MARCH AP-1000은 증착 빈도 증가, 에치 속도 증가 및 에치 균일 성을 향상시킵니다. 이는 대부분의 다른 소스보다 설치 공간이 넓은 고주파 ECR (High Frequency ECR) 소스를 사용하여 가능합니다. 또한, 이 모델에는 에치 레시피에 대한 자동 교정 및 샘플 히터 (sample heater) 및 저항 코트 마스크 (resist coat mask) 와 같은 다양한 옵션 액세서리가 포함되어 있습니다. NORDSON MARCH AP 1000은 매우 잘 설계되고 신뢰할 수있는 장비로, 연구 환경과 높은 생산 환경 모두에서 응용 분야에 적합합니다.