판매용 중고 NORDSON MARCH AP-1000 #293753808

Normson March NORDSON MARCH AP-1000은 고순도 반도체 부품 및 산업 제품의 생산에 사용되는 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 시스템은 2 개의 상호 연결된 챔버로 구성됩니다. 플라즈마 에칭 챔버와 빠른 열 애싱 챔버. 플라즈마 에칭 챔버 (plasma etching chamber) 는 고 에너지 전자 빔을 사용하여 에칭 공정을 위해 균일 한 열 플라즈마 환경을 생성합니다. 이 강력 한 "이온 플럭스 '는 공정 에서 산화물 층 과 기타 불순물 들 을 신속 하고 정확 하게 제거 하는 데 도움 이 되며, 또한" 이온' 손상 과 담보 표면 손상 을 최소화 한다. 이 챔버의 진공 등급은 2mbar이며 48V DC 전원 공급 장치로 구동됩니다. 두 번째 챔버 (빠른 열 재싱 챔버) 는 프로판-공기 혼합물 (propane-air mixture) 을 사용하여 기판을 빠르게 가열하여 플라즈마 후 처리를 유지하는 층 유기 오염 물질 (layer organic contaminant) 의 신속하고 효율적인 열 분해를 가능하게하는 고온로입니다. 온도는 25C에서 1400C 사이이며 챔버는 2000 ° C 이상의 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한, 이 챔버는 산소 및 질소 대기 애싱 (ashing) 과 휘발성 잔기 제거를위한 아르곤 애싱 (argon ashing) 을 허용한다. 또한 Normson March NORDSON MARCH AP 1000은 외부에서 개방적인 측면 챔버를 제공하여 사용자에게 더 높은 처리량을 위해 기판 카세트에 직접 액세스 할 수 있습니다. 기판을 빠르고 쉽게 교환할 수 있습니다. 전용 전송 포트를 통해 외부 도구에 액세스할 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 산업/반도체 생산에 사용되는 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 환경을 구축하는 한편, 안전하고 효율적인 사용자 환경을 제공합니다. Normson March AP-1000은 프리미엄 제품을 단순하고 편리하게 생산합니다.