판매용 중고 NORDSON MARCH AP-1000 #293743500

NORDSON MARCH AP-1000은 고밀도 표면 처리가 필요한 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 기타 산업의 정밀 표면 준비 및 에칭 프로세스를 위해 설계된 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 최첨단 장비는 프로세스 효율성, 안정성, 제어 능력을 향상시키는 다양한 혁신적인 기능과 기능을 제공합니다. NORDSON MARCH AP 1000은 고급 플라즈마 기술을 사용하여 플라즈마 에칭 및 애싱 응용 프로그램에서 탁월한 성능을 제공합니다. 플라즈마 에칭 공정 (plasma etching process) 은 고 에너지 플라즈마에서 반응성 가스를 사용하여 기판 표면에서 물질을 제거하는 것을 포함한다. 이를 통해 기판에 정확한 에칭 패턴 (etching pattern) 과 깊고 높은 종횡비 (aspect ratio) 기능이 제공되므로 복잡한 표면 수정이 필요한 광범위한 응용 프로그램에 이상적입니다. AP-1000 의 주요 특징 중 하나는 고성능 RF 전원 공급 장치이며, 이는 플라즈마 밀도와 균일성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 고급 RF 매칭 네트워크 (RF Matching Network) 및 임피던스 튜닝 (Impedance Tuning) 기능을 통합하여 플라즈마 챔버에 최적의 전원을 공급하여 일관된 처리 결과를 제공합니다. 이 정교한 전력 공급 시스템은 AP 1000 (AP 1000) 을 통해 다양한 기판 재료와 크기에 걸쳐 높은 에치 속도, 균일성, 반복 성을 달성할 수 있습니다. NORDSON MARCH AP-1000에는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 사용되는 프로세스 가스를 정확하게 제어 할 수있는 최첨단 가스 전달 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 대량 흐름 컨트롤러, 압력 조절기, 빠른 연결 피팅이있는 여러 개의 가스 입구 (gas inlet) 를 갖추고 있어 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 가스 전달 도구 (Gas Delivery Tool) 는 정확하고 안정적인 가스 흐름 속도를 제공하여 균일 한 에칭 및 애싱 결과를 보장하고 프로세스 변동성을 최소화하도록 설계되었습니다. NORDSON MARCH AP 1000의 또 다른 주요 기능은 고급 챔버 설계로, 프로세스 성능 및 효율성을 극대화하도록 최적화되었습니다. 에셋은 정밀한 온도 조절을 갖춘 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 를 특징으로하여 안정적인 플라즈마 조건과 일관된 처리 결과를 제공합니다. 챔버 설계에는 고급 가스 분배 시스템, RF 바이어싱 기능, 기판 난방 옵션 (기판 난방 옵션) 이 장착되어 있어 프로세스 개발 및 최적화에 유연성이 있습니다. AP-1000 은 사용자 친화적인 인터페이스와 소프트웨어 제어 모델을 갖추고 있어, 운영자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 쉽게 프로그래밍, 모니터링 및 최적화할 수 있습니다. 이 장비에는 직관적인 내비게이션 메뉴, 실시간 프로세스 모니터링 기능, 프로세스 추적성 (Traceability) 및 분석을 위한 데이터 로깅 기능 등이 포함된 터치스크린 제어판이 있습니다. 또한 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 은 고급 레시피 관리 툴을 제공하여 레시피 개발, 최적화, 여러 시스템 간 전송을 용이하게 합니다. 결론적으로, AP 1000은 정밀 표면 처리 응용을위한 최고의 성능, 신뢰성 및 제어를 제공하는 최첨단 플라즈마 에처/애셔 장치입니다. 고급 플라즈마 기술, 고성능 RF 전원 공급 장치, 정교한 가스 배달기, 최적화된 챔버 설계, 사용자 친화적 인 소프트웨어 제어 툴을 갖춘 NORDSON MARCH AP-1000 은 고밀도 표면 수정이 필요한 광범위한 업계를 위한 다용도 및 효율적인 솔루션입니다.