판매용 중고 NEXSO NV10 #9130696
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ID: 9130696
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 2002
High current ion implanter, 5"
Main power supply (all UPS power supply) = 208V3 phase 5-wire 135A
Grounding 1 ohm, electric power 45KVA
Cooling water inlet
Cooling water outlet
N2 Gas
CDA
Argon special gas
Boron specialty gas
General exhaust
Toxic exhaust
General vent
2002 vintage.
NEXSO NV10은 에처/애셔 (etcher/asher) 이며, 에처와 애셔의 기능을 하나의 머신에 결합한 장치입니다. ICs (microminiature integrated circuits) 와 같은 마이크로 미니어처 컴포넌트의 제조에 사용하도록 설계되었습니다. NV10 은 식각 (etching) 및 공정 분석을 통해 단면 및 양면 (double side) 을 위한 자동화된 습식 식각 장비로, 독립형 시스템으로 제공되거나 PVD 장치와 통합되어 있습니다. etcher/asher, 트레이 및 구성 요소 랙의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계는 최대 100mm/분의 속도로 다양한 기판을 에치 앤 애쉬 할 수 있습니다. NEXSO NV10은 최대 에칭 깊이가 1 µm, 최소 에칭 시간이 5 분인 정확한 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 프로그래밍 및 수동 애싱 모두를 허용하는 동적 애싱 (dynamic ashing) 도구가 있습니다. 열, 화학, 광학 센서는 모든 부품의 균일 한 에칭 및 재싱을 보장합니다. 이 기계에는 Windows 기반 운영 자산이 장착되어 있으며, 운영자는 실시간 프로세스 데이터를 모니터링하면서 여러 가지 에칭 레시피를 프로그래밍하고 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 향상된 진공 절연 장치 (Enhanced vacuum insulation mechanism) 를 장착하여 열 손실량을 줄입니다. NV10은 소형 및 다용도 에처/애셔로, 단일 및 이중 레이어 에칭에 모두 사용할 수 있습니다. 또한 이더넷 연결 (Ethernet Connection) 을 통해 다른 프로세스 툴과 통합하고 다양한 에칭 레시피를 프로그래밍 할 수 있습니다. 전반적으로 NEXSO NV10은 강력하고 효율적인 etcher/asher로, 매우 정확하며 고품질 IC 프로토 타입과 부품을 일관되게 생산하는 데 사용할 수 있습니다. 자동화된 프로세스와 정확한 제어의 조합으로 반도체 (semiconductor) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 제작에 이상적입니다. 다른 툴과 통합하고, 상세한 프로세스 데이터를 제공함으로써, 커머셜 (commercial) 및 산업 (industrial) 애플리케이션에 더욱 매력적입니다.
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