판매용 중고 NEMS NEMST-JET- 2008III #9247042
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NEMS NEMST-JET-2008III는 다양한 기판 표면에 대해 매우 정밀한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 다기능 에처/애셔입니다. NEMST-JET-2008III는 진공 기술 및 DSA 기술을 사용하여 다양한 이미지를 생성하며, 사용자 정의 또는 지형적으로 일치 할 수 있습니다. NEMS NEMST-JET-2008III (NEMS NEMST-JET-2008III) 는 안정적이고 검증된 성능을 특징으로 하며, 최고의 반복성과 재현성을 갖춘 깨끗한 프로세스 결과를 제공합니다. 또한 빠른 자동 매개변수 (Automatic Parameter) 설정을 제공하고 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 결합하여 빠르고 간편한 수동 조정이 가능한 정교한 제어 시스템 (Companticated Control System) 에 의해 구동됩니다. NEMST-JET- 2008III는 사용자가 프로세스 압력, 챔버 온도, 가스 흐름 및 프로세스 지속 시간을 포함한 모든 에칭 및 애싱 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 또한, NEMS NEMST-JET-2008III (NEMS NEMST-JET-2008III) 의 정확한 기계적 설계로 인해 프로세스를 세밀하게 조정하고 다양한 재료를 선택할 수 있습니다. NEMST-JET-2008III의 에칭 및 애싱 프로세스는 원격 RF 플라즈마를 사용하여 수행되며, 이는 최적의 주파수에 맞춰 조정 할 수 있습니다. 이것은 챔버 내에서 가스 흐름을 정확하고 균일하게 지시하므로, 균일하지 않은 영역 높이를 제거합니다. 또한, 가공 가스는 재료 유형에 따라 최적화 될 수 있으며, 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공정이 가능합니다. NEMS NEMST-JET-2008III는 21 인치 직경의 큰 챔버를 특징으로하여 챔버 내부에 큰 기판을 적재 할 수 있습니다. 원통형 챔버 (cylindrical chamber) 설계는 반응성 가스의 효율적인 대피 및 동시에 좋은 온도 균일성으로 처리하기위한 기판 보유자의 서스펜션을 가능하게한다. 마지막으로, NEMST-JET-2008III는 사용자에게 빠르고 정확하며 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 다양한 매개 변수를 개별적으로 조정하여 완벽한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. RF 플라스마를 사용하면 결과가 기판과 무관합니다. 또한 사용자 인터페이스 및 프로세스 제어는 NEMS NEMST-JET - 2008III 에서 프로세스를 빠르고 빠르게 설정, 실행 및 모니터링합니다.
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