판매용 중고 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 #293660507
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NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330은 정밀 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 전동 구동이있는 엘리베이터와 플래튼의 두 부분으로 구성됩니다. 엘리베이터 (Elevator) 는 웨이퍼를 10mm/sec로 이동하는 장치의 위쪽으로 들어 올리고, 플래튼은 0.2um 해상도의 고정밀 동력 구동 (Motorized Drive) 에 의해 구동됩니다. 총 머신 설치 공간은 420 x 400mm에 불과하며, 높은 믹스, 저용량 생산에 이상적입니다. NAURA ELEDE 330은 사용자에게 친숙한 그래픽 터치 스크린 인터페이스를 제공하여 복잡한 프로세스에 대한 효율적인 프로그래밍 및 프로세스 모니터링을 지원합니다. 이 도구는 여러 가스 레시피를 지원할 수 있으므로 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 프로세스, 그리고 단일 머신 컨트롤의 다양한 가스 믹스를 쉽게 전환 할 수 있습니다. 네트워크 상호 연결 기능을 통해 타사 시스템에 통합하여 원활한 연결 및 프로세스 피드백 (feedback) 데이터를 제공할 수 있습니다. AKRION ELEDE 330은 또한 모든 유형의 기판에 뛰어난 에칭 및 애싱 성능을 제공하는 ISA (Ion Source Assembly) 를 자랑합니다. 비활성 금속 챔버 (inert metal chamber) 는 호위 및 플라즈마 누출을 최소화하여 모든 재료의 균일 한 에칭을 가능하게하도록 설계되었습니다. "플라즈마 '공급원 은" 에칭' 과정 을 세밀 하게 조정 하기 위하여 주파수 와 전압 조정 을 사용 하여 전자 와 입자 구성 을 더욱 조정 하고 최적화 할 수 있다. 또한, ELEDE 330은 내장 질량 흐름 컨트롤러가 장착 된 자체 포함 가스 전달 에셋을 특징으로하며, 에칭 및 애싱 (ashing) 시 정밀한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 이 모델에는 소스 에너지 모니터 및 디지털 RF 커패시턴스 제어 (capacitance control) 가 포함되어 있어 매우 안정적인 에칭 조건을 보장합니다. NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330은 NAURA 의 탁월한 영업 후 지원 서비스와 보증 오퍼링의 지원을 받아, 까다로운 에치 (etch) 및 애쉬 (ashing) 어플리케이션을 위한 안정적이고 견고한 솔루션을 제공합니다.
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