판매용 중고 NANOPLAS DSB 6000 #293747090

NANOPLAS DSB 6000은 Semiconductor, MEMS 및 LED 산업의 정교하고 섬세한 1면 미세 패턴 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 정밀도를 위해 설계된 이 장치는 0.25um 라인 너비와 5nm 반복 크기의 높은 동적 정밀도를 갖습니다. 나노플라스 (NANOPLAS) 가 개발한 특허를 받은 DC 광학 장비를 탑재해 파형 블레이드 (waveform blade) 와 지원 기반을 정확히 포지셔닝했다. 강력하고 유지 보수가 불가능한 시스템은 6 "x6" 고정, 회전 불가능한 작업 기판 플랫폼을 갖추고 있으며, 최대 200mm x 100mm의 활성 프로세스 영역을 제공하여 대규모 기판을 처리 할 수 있습니다. 실리콘, 쿼츠, 반도체 합금, 사파이어 등 다양한 재료를 식각 할 수 있습니다. DSB 6000은 프로세스 유연성과 견고성을 위해 설계되었습니다. 그것은 50um 연속 온도 균질화 레이어와 그 아래의 최고 가열 영역 레이어의 500nm 깊이를 가진 3 층 상단 히터가있는 Fiber-Coupled Direct-Diode Laser (다이오드 레이저 어레이) 를 가지고 있습니다. etcher/asher에는 x-y-z 모터 스테이지, 고급 자동 스태킹, 4 마스크 정렬 장치, 자동/수동 동작 제어 및 자동 초점 제어가 있어 작동이 쉽습니다. 이 장치에는 40kHz 최대 반복 속도의 펄스 증착 레이저, 사전 구조화 된 프로파일 당 조절 가능한 펄스 에너지 및 속도, 사용자 정의 필름 온도 조절 머신 (custom film temperature control machine) 이 장착되어 있습니다. 사용자 친화적 인 설계에는 인체 공학적 손잡이가 있어 작동이 쉽고, LCD 디스플레이는 실시간 정보를 제공하며, NANOPLAS DSB 6000은 강력한 진단 및 진단 제어 알고리즘을 내장하여, 이 도구를 사용 및 유지 관리하기 쉽습니다. 에셋을 더 쉽게 만들기 위해 장치에는 설치 및 작동이 용이한 컴퓨터 소프트웨어 패키지, 애셔의 빠른 전환을 가능하게하는 자동 기판 로딩 모델, 프로그래밍이 용이한 PLC (programmable logic controller), 간편한 휴먼 머신 인터페이스 (human-machine interface) 가 포함되어 있습니다. 설치 및 작동. DSB 6000은 정확한 1면 미세 패턴화 프로세스를 갖춘 프로덕션 환경에서 사용할 수 있는 최첨단 에처/애셔입니다. 신뢰성 이 있고 정확 한 장치 로서, 사용 하기 쉽고 조작 하기 가 쉬우며, 세밀 한 "패턴화 '과정 이 정확 하게 이루어질 것 이다.