판매용 중고 MTJ P339 / P344 #9285841
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MTJ P339/P344 etcher/asher는 반도체 처리 응용 프로그램에서 박막 또는 기판의 고성능, 고효율 에칭 및 애쉬를 위해 설계되었습니다. 이 정밀 도구는 다양한 프로세스 매개변수와 고급 재진입 전기 화학 처리 (re-entrant electrochemical processing) 를 통해 사용자 친화적이며 효율적입니다. 이 시스템은 뛰어난 결정 상 균일성과 고품질 표면 마무리를 제공합니다. P339/P344 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 특허 된 토션 에치 기술이 포함되어 있으며, 에치 또는 재시 될 재료의 기본 구조에서 높은 결정 학적 에치 배급 및 균일 성을 갖는 정밀 에치 및 애싱 결과를 생성합니다. 표면 마무리와 수정 상 균일성을 높이기 위해 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 동작은 고급 자체 밸런싱 DC 전원 공급 장치로 구동됩니다. 전원 공급 장치는 전류 (current) 및 온도 모니터링 (temperature monitoring) 기능뿐만 아니라 진정한 전원 계수 보정을 통해 효율성을 극대화하고 폐기물을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. MTJ P339/P344 etcher/asher는 몰입, 웨이퍼 스트리핑, 드라이 에칭 및 웨이퍼 본딩의 4 가지 프로세스 레벨을 특징으로하며, 각 프로세스는 개별적으로 설정되고 튜닝되어 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 정밀 제작 챔버는 매우 깨끗한 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 모든 시약과의 최대 안전 및 호환성을 달성하도록 설계되었습니다. 통합 디지털 제어 시스템 (Integrated Digital Control System) 을 통해 사용자는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. 컨트롤러는 온도, 압력, 진공 (vacuum) 및 기타 여러 매개변수에 대한 실시간 모니터링 및 제어를 제공하여 프로세스를 보다 효율적이고 생산적으로 만듭니다. P339/P344 etcher/asher는 접촉 금속화, 마스킹, 도금 등 많은 응용 프로그램에서 우수한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 광범위한 매개변수 (parameter) 와 효율적인 기술 (efficient technology) 은 최소한의 재료 폐기물로 고가 기판 처리를 위해 안정적인 결과와 최대 처리량을 제공합니다.
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