판매용 중고 MTJ P291 / P334 #9285840

MTJ P291/P334는 최대 25cm (10 ") 직경의 기질에서 매우 정밀한 마이크로 일렉트로닉 에칭, 애싱 및 마이크로 머치닝을 제공하기 위해 설계된 고성능 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 제품은 사용이 쉽고, 대학, 실험실, 반도체, 전자 제조 공정에 이상적인 소형, 자체 포함 장비입니다. P291/P334는 1 ½ m만큼 얕은 에칭 및 재싱이 가능한 전용 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 기계는 생산성을 최적화하고 일관된 고품질 에칭 (etch) 및 애싱 (ashing) 을 보장하도록 설계된 자동 로드 잠금 머신을 갖춘 미크론 수준의 정밀 에치/애쉬 전송 장치를 사용합니다. 이 기계는 다른 화학 공정과 기판 재료를 처리 할 수있는 고급 프로세스 제어 시스템 (advanced process control systems) 을 특징으로하며, 사용자는 각 프로세스에 대한 최적의 에칭 매개변수를 선택할 수 있습니다. 여기에는 포스트 프로세스 도량형 및 기타 프로세스 함수에 대한 레시피 설정을 프로그래밍하는 기능이 포함됩니다. MTJ P291/P334는 KOH, TMAH, MUF 및 SF6을 포함한 다양한 에칭 화학 물질을 실행할 수 있으며 Ar/O2 및 XeF2 흐름을 모두 허용하는 통합 가스 캐비닛을 특징으로합니다. P291/P334 (P291/P334) 의 다른 기능으로는 조정 가능한 로더와 기판의 빠르고 정확한 배치 및 변환을 위한 고급 동작 도구가 있습니다. 또한, 이 기계는 통합 진공 자산 (vacuum asset) 을 특징으로하여 처리량을 높이고 기판 처리를 개선합니다. 이 모델에는 또한 2 개의 측면 냉각 압축기, 2 개의 통합 온도 컨트롤러 및 최고의 etch 성능을 위해 자동 매개 변수 튜닝이있는 멀티 채널 신호 프로세서 (multichannel signal processor) 가 있습니다. 마지막으로, MTJ P291/P334에는 특허를 받은 독립 도어 (independent door) 메커니즘이 장착되어 있으며, 이 메커니즘을 통해 도어가 열을 단열할 수 있습니다. 격리 된 도어는 에칭 및 애싱 프로세스 동안 교차 오염 및 열 충격 문제를 방지합니다. 또한, 이 장비는 압력 센서, 비상 차단 및 직관적 인 HMI (human-machine interface) 와 같은 고급 안전 기능을 통합하여 작동과 모니터링을 용이하게합니다.