판매용 중고 MORY DSV-3000 #9145025

MORY DSV-3000은 에처/애셔 머신으로, 산업 및 실험실 응용을위한 유연하고 정확한 에치 및 애싱 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 자동화된 프로세스 (Automated Process) 를 통해 사용자는 매개변수를 빠르고 쉽게 조정하고 특정 요구에 맞게 설정을 조정할 수 있습니다. DSV-3000에는 빔 스팟 크기가 1.4mm, 이온 에너지 범위가 0 ~ 6kV 인 우수한 이온 빔 품질을 제공하는 2 개의 이온 빔 소스가 장착되어 있습니다. 이를 통해 고품질 에칭과 재싱이 보장됩니다. 이 장치는 또한 조정 가능한 빔 틸트 (beam tilt) 및 빔 앵글 컨트롤 (beam angle control) 을 갖추고 있으며, 이에 따라 에칭 및 애싱 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, MORY DSV-3000에는 광범위한 기판 재료를 지원하는 통합 기판 단계가 포함되어 있습니다. 여기에는 실리콘, 유리, 금속, 세라믹 및 폴리머가 포함됩니다. 기판 단계 (substrate stage) 를 사용하면 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 매우 정확하고 반복적으로 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 로봇 및 비전 시스템과의 완벽한 통합으로 무인 운영 및 자동화가 가능합니다. 또한 내장형 제어 시스템은 다중 기능 정렬, 수정된 연마, 사전 설정 (pre-etch) 클리닝 및 장치 테스트와 같은 지능형 프로세스를 제공합니다. 이렇게 하면 각 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스가 사용자의 설계 의도와 정확하게 일치하도록 수행됩니다. 이 장치는 XYZ 모션 시스템을 사용하여 기판 단계를 통해 미세 위치 조정 (fine positioning adjustment) 을 허용합니다. 또한 DSV-3000 은 이미지 처리, 웨이퍼 감지, 자동 정렬 등 다양한 소프트웨어 툴을 제공합니다. 이러한 도구를 통해 작업 생산과 품질 관리를 더욱 효율적이고 경제적으로 수행할 수 있습니다. MORY DSV-3000 에는 직관적인 터치 스크린 인터페이스가 제공되므로, 프로세스 매개변수를 쉽게 탐색하고 조정할 수 있습니다. 이 장치는 가장 까다로운 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 CE 및 RoHS (Restriction of Hazardous Substances Directive) 규정을 완벽하게 준수합니다.