판매용 중고 MODUTEK SPS 620 #9176760

MODUTEK SPS 620 (MODUTEK SPS 620) 은 높은 수준의 정밀 성능과 신뢰성을 제공하는 에처/애셔 (etcher/asher) 로 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 이상적인 장비입니다. 이 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 는 19 인치 터치 스크린을 통해 사용자는 강력하면서도 사용자 친화적 인 소프트웨어에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 Vactronic Control Unit (Vactronic Control Unit) 을 갖추고 있으며 사용자에게 사용 가능한 가장 정확한 챔버 온도 제어를 제공합니다. SPS 620 은 이중 챔버 (dual-chamber) 설계를 통해 샘플을 한 챔버에서 다른 챔버로 이동하지 않고도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 동시 작동을 제공하여 수동 작업이 필요하지 않습니다. 내부 웨이퍼 캐리 도구 (wafer carry tool) 는 위치 정확도가 ± 2.5jm인 정확한 웨이퍼 위치를 허용합니다. 이 도구는 또한 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수있는 10 x 10 챔버 (10 x 10 chamber) 를 특징으로하며 최대 10 x m 두께의 기판을 에치 할 수 있습니다. MODUTEK SPS 620 (MODUTEK SPS 620) 은 산업용 하드웨어와 구성 요소로 설계되어 가장 안정적이고 내구성이 뛰어난 에칭 및 애싱 시스템 중 하나입니다. 견고한 설계로 최대 500 ° C의 공정 온도를 제공하는 반면, 특허받은 이중 벽 에칭 챔버 (double-wall etching chamber) 설계는 탁월한 수준의 열 보호 및 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이 자산은 또한 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 모델, 내부 E-beam 증발기 및 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을위한 통합 가스 혼합 장비를 갖추고 있습니다. SPS 620 은 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 비상 정지 버튼과 과열 (over-temper) 및 과압 (over-pressure) 보호 기능을 갖추고 있습니다. 또한 RS 232/485, Ethernet 및 USB 통신 포트를 갖춘 개방형 아키텍처 설계를 통해 기존 실험실 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 고급 기능, 정확한 성능, 안정적인 품질을 결합한 MODUTEK SPS 620 (MODUTEK SPS 620) 은 모든 에칭 또는 애싱 어플리케이션에 적합한 선택입니다.