판매용 중고 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602
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모듈식 프로세스 기술/MPTC UV-600은 고급 MEMS, 실리콘 및 III-V 장치 제조에 필요한 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 모듈식 접근 방식으로 설계되어 특정 애플리케이션의 특정 요구 사항에 손쉽게 맞춤 구성하고 통합할 수 있습니다. MPTC UV-600은 최소 70nm (linwidth) 까지 소재의 매우 정확한 에칭 및 재싱을 할 수 있습니다. 모듈식 프로세스 기술 (MODULAR PROCESS TECHNOLOGY) UV-600의 모듈식 설계는 많은 에칭 응용 프로그램 전체에서 사용자 정의 가능한 유연성을 제공합니다. 최대 6 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 공정 챔버 (process chamber) 가 특징이며, 최대 108 개의 레시피 단계를 사용하여 사용자 정의 가능한 공정 레시피를 저장 및 리콜 할 수 있습니다. 또한 최첨단 안전 및 진단 기능도 갖추고 있습니다. UV-600은 MPTC의 특허를받은 MCS (Molecular Cascade Source) 기술을 갖추고 있습니다. 이 기술은 etcher/asher에게 매우 안정적이고 반복 가능한 혁신적인 플라즈마 소스를 제공합니다. MCS 기술은 저비용 (low-cost) 소모품을 사용하며 유지 보수가 무료이며 희귀한 가스의 소비량을 10 배 줄입니다. MCS 기술의 이점은 비용 절감, 프로세스 기능 향상으로 해석됩니다. 모듈식 프로세스 기술/MPTC UV-600은 20 가지 에칭 가스 종을 사용하여 인상적인 에칭/애싱 기능을 제공합니다. 산소 기반 종, C4F6, Ar, SF6 및 NF3을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 체제를 수행 할 수 있습니다. 에칭 절차는 가스 흐름 속도 (gas flow rate), 전력, 에칭 시간 (etching time) 등과 같은 프로세스 매개변수를 설정하여 각 응용 프로그램에 맞게 최적화할 수 있습니다. 고유 한 에칭 챔버 디자인은 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 와 같은 틈새 시장 및 반복 가능한 프로세싱에서 사용할 수 있습니다. MPTC UV-600은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 숙련 된 엔지니어뿐만 아니라 초보 사용자에게도 편리합니다. 내장형 LCD 디스플레이에 표시되는 실시간 온도 및 압력 모니터링 시스템이 특징입니다. 이 기계에는 안전 (Safety) 과 더 긴 장비 수명을 보장하는 Fail-Safe 시스템도 장착되어 있습니다. 요약하자면, MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600은 매우 정확하고, 반복 가능하며, 사용자 정의 가능한 에칭 및 애싱 기능을 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 광범위한 에칭 가스 (etching gas) 종, 쉽게 사용자 정의할 수있는 모듈 식 디자인, 숙련 된 사용자 및 초보자 모두를 보장하는 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 장착되어 있습니다. 특허를 획득한 MCS 기술은 실시간 온도, 압력 모니터링 시스템 (Pressure Monitoring System) 과 결합하여 다양한 소재의 신뢰성과 비용 효율적인 에칭, 재싱을 위한 강력한 자원입니다.
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