판매용 중고 MKS Pico #9143202

MKS Pico는 반도체 처리 및 기타 재료 표면 마이크로 패턴화에 사용되는 상업용, 고급, 정밀 에처/애슐러입니다. 고도의 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 기술을 사용하여 가장 높은 균일성과 반복성을 지닌 초정밀 패턴화는 물론, 최고 처리량을 유지하고 생산성을 높입니다. 고정밀 공정 (high-precision process) 모듈은 매우 얇은 재료에서 가능한 가장 훌륭한 기능을 생산하는 데 가장 적합합니다. Pico는 2 개의 동시 플라즈마 공정에 대한 단일 가스 패스 스루, 이중 배럴 구성을 갖춘 시장을 선도하는 에처/애셔입니다. 이 시스템은 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 을 사용하여 세부 피쳐 정보를 정확하고 안정적으로 얻은 다음 재료 표면을 정확하고 균일하게 에치 (etch) 하거나 재시 (ashe) 합니다. MKS Pico는 in-situ 및 ex-situ 응용 프로그램 모두에 사용될 수있는 다재다능한 etcher/asher입니다. 실리콘, 알루미늄, 석영 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 과정은 정확하고, 안정적이며, 반복 가능하며, 광범위한 재료에 걸쳐 뛰어난 균일성을 제공합니다. Pico 역시 효율성이 높아 프로세스 시간이 짧고 전력 소비량도 적습니다. 이는 높은 처리량 및 비용 효율성을 요구하는 대규모 생산 주문에 이상적인 선택이라 할 수 있습니다 (영문). 이 시스템에는 정교한 운영자 제어 소프트웨어도 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있으므로 성능/효율성을 극대화할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 여러 프로세스 레시피를 저장할 수 있으므로 빠른 설정 (Quick Setup) 및 처리를 통해 데이터를 후처리 도구로 전송하여 추가 분석 또는 분석 (Alternating Cycle) 을 수행할 수 있습니다. MKS Pico는 신뢰할 수 있고 강력하며 사용하기 쉽습니다. 이러한 기능을 통해 모든 고정밀 표면 처리 작업에 이상적인 파트너가 됩니다. 정확하고, 반복 가능한 결과, 높은 처리량, 낮은 전력 소비량, 고급 운영자 제어 (Advanced Operator Control) 를 통해 효율적이고 정확한 재료 패턴을 선택할 수 있습니다.