판매용 중고 MKS 660-072823-R200 #9164994

MKS 660-072823-R200
제조사
MKS
모델
660-072823-R200
ID: 9164994
RF Plasma generators For LAM Flex DS etcher.
MKS 660-072823-R200 (MKS 660-072823-R200) 은 다양한 에칭, 애싱 및 클리닝 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공할 수 있는 다기능 에처 및 애셔입니다. 이 장비는 330mm x 300mm x605mm 단일 챔버 플래튼 챔버를 특징으로하며 용량은 13 리터입니다. 이 챔버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 부식 및 부식 관련 손상에 대한 뛰어난 내성을 제공하도록 설계되었습니다. 플래튼은 또한 부식에 강하며, 특수 고성능 어닐링 공정으로 제조되었습니다. 이러한 기능은 결합되어 뛰어난 에칭 및 애싱 경험을 만듭니다. 이 시스템은 또한 온도와 압력 (pressure) 에 충분히 도달 할 수있는 진공 소스와 제어를 갖추고 있습니다. 이것 은 "플래튼 '연기 를 끌어내고," 에칭' 과 "애싱 '재료 를 각각 최적 으로 기화 시키는 데 사용 된다. 660-072823-R200에는 여러 가지 고급 운영 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 원하는 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 클리닝 (cleaning) 을 달성하기 위해 펄스 오븐 매개변수를 조정하는 기능이 포함됩니다. 또한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 장치의 매개변수를 완전히 제어할 수 있으며, 이를 통해 처리 온도, 압력, 지속 시간을 정확하게 조절할 수 있습니다. MKS 660-072823-R200은 기계의 뛰어난 에칭 및 애싱 기능 외에도 다양한 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 과열 방지, 고온 노출으로부터 플래튼 및 챔버를 보호하기 위해 과열 방지 (anti-bump) 바운스를 방지하기위한 글리콜 및 수냉식 외장, 압력 및 온도 변동을 제어하기위한 특수 고압 밸브 (Hyper-Pressure Valve) 가 포함됩니다. 안전 시스템 (Safety Systems) 은 사용자에게 도구 작동에 안심할 수 있도록 설계되었습니다. 660-072823-R200 (Top-Tier Etcher 및 Asher) 은 사용자에게 다양한 에칭, 애싱 및 청소 프로세스에 대한 안정적인 성능을 제공합니다. 대용량 챔버 (chamber capacity), 고급 펄스 오븐 컨트롤 (pulse oven control) 및 정교한 안전 시스템은 정확하고 안정적인 에칭, 애싱 및 청소 프로세스를 위해 탁월한 선택입니다.
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