판매용 중고 MITSUBISHI Tamagawa #9123345

MITSUBISHI Tamagawa
제조사
MITSUBISHI
모델
Tamagawa
ID: 9123345
웨이퍼 크기: 12"
Final clean systems, 12".
MITSUBISHI Tamagawa는 이중 주파수 자기장 기술을 사용하여 하전 플라즈마 토치를 생성하는 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 장치 는 유리, 금속, 수지, 중합체 등 여러 가지 물질 을 에칭 하여 부착 할 수 있다. 이 장치는 가스 믹서 장치, 챔버, 전원 케이블 및 자기 코일로 구성됩니다. 이 제품은 실험실, 생산 시설 등 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다. 가스 믹서 장치는 기판 히터, 1 개 또는 2 개의 가스 노즐, 스트림 바 및 로터리 레토르트를 포함한 5 개의 전극 어셈블리로 구성됩니다. 그것 은 "플라즈마 '토치 를 생성 하기 위하여" 암모니아' 및 수소 와 같은 반응성 기체 를 혼합 하는 데 사용 된다. 그 다음 에 그 혼합물 을 약실 에 도입 시키는데, 그 약실 은 압력 을 조절 하고 조정 하여 "에칭 '을 하고" 애쉬' 를 하는 최상 의 조건 을 제공 한다. 챔버는 400Hz 자기 작동 스위치 (Magnetically Operated Switch) 를 특징으로하는 육각형 튜브이며 펄스 구동, 고주파 호를 생성 할 수 있습니다. 견고하고 청소하기 쉽도록 설계되었습니다. 또한 광학 챔버 플레이트 (optic chamber plate) 와 플라즈마 토치를 시각적으로 검사하기위한 이미지 캡처 퍼니스를 갖추고 있습니다. 전원 공급 장치 케이블은 전원 공급 장치에 전기를 공급하는 데 사용됩니다. 즉, 처리 중인 특정 재료에 대해 조정 가능한 출력을 설정할 수 있습니다. 사용 중인 재료에 맞게 전원 공급 장치를 조정할 수 있습니다 (1 ~ 99 와트). 자기 코일은 Tamagawa etcher/asher의 최종 구성 요소입니다. 이중 주파수 자기장을 만들도록 설계되었습니다. 이 필드는 회전 압력파 (rotating pressure wave) 를 유도하여 교류 전류를 생성하여 고주파 전압 변화를 유발하는 진동장을 제공합니다. 이것 은 "플라즈마 '" 플룸' 에서 불순물 을 제거 하는 데 도움 이 되는데, 그것 은 온도 를 안정화 시키고 "플라즈마 '" 가스' 를 이온화 시키는 데 도움 이 된다. MITSUBISHI Tamagawa etcher/asher는 안정적이고 효율적인 장치로, 정확하고 정확하게 다양한 재료를 에치 앤 애칭할 수 있습니다. 조절 가능한 전원 공급 장치 케이블은 다양한 설정을 허용하는 반면, 이중 주파수 자기장 (magnetic-frequency magnetic field) 기술은 정밀도를 보장합니다. 그 견고한 구조는 장기적인 사용을 보장하고, 종합적인 기능으로 인해 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을위한 이상적인 장치가되었습니다.
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