판매용 중고 MIMASU MSE 4000 FHF #293796108

MIMASU MSE 4000 FHF는 반도체, MEMS 및 고급 포장 제조 산업의 다양한 재료를 정확하게 처리하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 다목적 도구는 최신 제작 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 고급 프로세스 기능, 뛰어난 균일성, 높은 생산성을 제공합니다. MSE 4000 FHF의 주요 특징 중 하나는 고성능 플라즈마 소스 (Plasma Source) 로, 재료의 효율적인 에칭 및 재싱을 위해 반응성이 높은 플라즈마 환경을 생성합니다. 이 "시스템 '은 산소," 플루오린' 및 기타 화학 물질 과 같은 "가스 '의 조합 을 이용 하여 높은 선택성 과 조절 능력 을 가진 광범위 한 물질 제거 과정 을 이룬다. 이로써 "실리콘 ', 이산화" 실리콘', 금속, 중합체 및 기타 첨단 재료 들 을 정밀성 과 반복성 을 가지고 에치 및 애쉬 '할 수 있다. MIMASU MSE 4000 FHF에는 최첨단 공정 챔버 (state-of-art process chamber) 가 장착되어 있어 최적의 결과를 위해 광범위한 처리 온도, 압력 및 가스 유량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 입자 생성을 최소화하고, 균일 한 플라즈마 분포를 보장하며, 일관되고 안정적인 성능을 위해 프로세스 안정성을 향상시키도록 설계되었습니다. 또한, 기계는 성능을 손상시키지 않고 고온 애싱 (ashing) 및 저온 에칭 (eching) 프로세스를 모두 가능하게하기위한 고급 온도 제어 메커니즘을 특징으로합니다. 이 도구는 또한 고급 웨이퍼 처리 에셋 (wafer handling asset) 을 통해 처리 중 기판의 정확한 위치와 정렬을 보장합니다. 이를 통해 모델은 전체 웨이퍼 표면에서 높은 수준의 프로세스 균일성 (process unifority) 및 반복성 (repeatability) 을 달성할 수 있으며, 최소 변형을 통해 우수한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 200mm 및 300mm를 포함한 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 실리콘, 유리, 사파이어, 복합 반도체 재료 등 다양한 웨이퍼 유형을 수용 할 수 있습니다. MSE 4000 FHF 는 직관적이고 사용자 친화적인 소프트웨어로, 운영자가 다양한 프로세스 레시피를 위해 시스템을 손쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있도록 합니다. 이 소프트웨어는 실시간 데이터 시각화, 레시피 관리, 유닛 진단 (Unit Diagnostics) 등 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 옵션을 제공하여 프로세스 성능을 최적화하고 일관된 결과를 제공합니다. 또한, 이 기계는 Fab-wide Manufacturing Execution System (MES) 에 완벽하게 통합되어 프로세스 자동화 및 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서 MIMASU MSE 4000 FHF는 다수의 안전 인터 락 (Safety Interlock), 통합 배기 시스템 (Integrated Exhaust System) 및 고급 모니터링 센서로 설계되어 운영자의 안전을 보장하고 민감한 구성 요소를 손상으로부터 보호합니다. 또한 고급 유지 보수/진단 툴을 통해 사전 예방적 자산 유지 관리 작업을 원활하게 수행하고 다운타임을 최소화하여 생산성을 높일 수 있습니다 (영문). 전반적으로, MSE 4000 FHF는 반도체, MEMS 및 고급 포장 산업의 광범위한 재료 처리 어플리케이션에 대한 고급 프로세스 기능, 뛰어난 균일성, 높은 생산성을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 모델입니다. 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source), 정밀한 프로세스 제어, 고급 웨이퍼 처리 (Wafer Handling), 사용자 친화적 소프트웨어 (User-Friendly Software) 및 견고한 안전 기능을 갖춘 이 장비는 제조 요구에 적합한 안정적이고 효율적인 솔루션을 원하는 제조업체에 적합합니다.