판매용 중고 MAXIS 300LA #9402510

MAXIS 300LA는 다양한 유형의 연구, 실험실 및 산업 응용 분야에 적합한 고성능 etcher/asher입니다. 에칭, 애싱 및 디코팅 작업의 탁월한 성능, 속도 및 정확성을 제공합니다. 얕은 에칭 채널 (eched channel) 에서 깊은 웨이퍼 에칭 (etching of wafer) 에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 두 개의 병렬 플라즈마를 사용하여 두 개의 다른 RF 주파수로 작동하여 동종 에칭 깊이를 확인합니다. 에치 깊이는 300LA 소프트웨어에 의해 정확하게 제어되며, 이는 또한 실리콘, 반도체, 안경 및 금속과 같은 다양한 기질로 작동 할 수 있습니다. 또한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 신속하게 사이클링하여 높은 생산성을 제공하지만 TCO (총소유비용) 를 유지합니다. MAXIS 300LA는 견고하고 안정적인 구성 요소로 구성되어 안전하고 무중단 운영을 보장합니다. 300mm 웨이퍼 에칭 용량과 200mm 웨이퍼 애싱 용량을 갖춘 특허 플라즈마 소스가 특징입니다. 또한 운영 비용이 낮아지는 긴 수명 진공 펌프가 있습니다. 레시피, 매크로 및 펄스 옵션을 포함하여 다양하고 사용자에게 친숙한 소프트웨어 옵션이 있습니다. 따라서 가장 정교한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 300LA에는 스텝 모터 인터페이스 (step motor interface), 기판 히터 (기판 히터) 및 종 질량 분석기 인터페이스 (species mass spectrometer interface) 와 같은 여러 액세서리도 제공됩니다. MAXIS 300LA는 광범위한 용도로 설계된 견고한 에칭 및 애싱 시스템입니다. TCO (총 소유 비용) 절감 효과와 더불어 고성능 기능을 통해 가장 까다로운 애플리케이션에 이 툴을 구축할 수 있습니다 (영문). 사용자 친화적 인 소프트웨어 옵션과 액세서리 (accessory) 는 연구 그룹, 실험실 및 산업 에칭 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.