판매용 중고 MAXIS 300LA #293636259

MAXIS 300LA etcher/asher는 반도체 산업에서 사용되는 고급적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 300LA는 업계 최고의 프로세스 사이클을 제공하도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 sub-micron etch 및 ashing 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 탁월한 정확성과 반복성으로 에칭과 재싱을 할 수 있습니다. 맥시스 300LA (MAXIS 300LA) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 정확한 온도 조절을위한 통합 난방 요소를 특징으로합니다. 이것은 외부 가스 탱크를 제거하고, 프로세스 안정성을 극대화하기 위해 밀봉 된 챔버를 제공합니다. 통합 난방 요소는 최대 500 ° C의 온도에 적합합니다. 300LA에는 통합 진공 펌핑 장비와 압력 제어 시스템도 있습니다. 진공 장치는 10-9 torr의 진공 수준에 도달 할 수 있습니다. 압력 조절 장치 는 매우 정확 하여 "에칭 '과" 애싱' 과정 중 의 압력 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이는 프로세스의 뛰어난 반복성을 보장합니다. MAXIS 300LA는 챔버 외에도 4 개의 카세트 도구 캐리어 (옵션) 를 제공합니다. 이 운반 대는 다양한 웨이퍼와 기판을 보관하도록 설계되었습니다. 300LA에는 사용자가 선택할 수 있는 프로그래밍 옵션도 포함되어 있어 회전 정도 (degrees of rotation), 전원 수준 (power level), 반응 시간 (reaction time) 등을 정확하게 제어할 수 있습니다. MAXIS 300LA etcher/asher는 안정적이고 일관된 결과를 제공 할 수 있습니다. 첨단 기술과 견고한 설계를 통해 반도체 어플리케이션을 위한 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 필요로 하는 사용자에게 이상적인 솔루션을 제공합니다.