판매용 중고 MAXIS 300LA #293591993

MAXIS 300LA는 미세 전자, 생의학 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 산업의 광범위한 재료를 처리 할 수있는 고성능 플라즈마 에칭 머신입니다. 대형 300mm 직경 에칭 챔버가 특징입니다. 빠르고 정밀도가 높은 프로세스를 쉽게 편집할 수 있습니다. 운영자 제어 및 데이터 분석을 지원하는 유연한 워크플로우 관리 소프트웨어를 제공합니다. 이 기계에는 1 x 10-3에서 5 x 10-3 mbar에 이르는 압력 범위가있는 통합 터빈 기반 진공 시스템이 있습니다. 이를 통해 다양한 챔버 설정으로 기판을 에칭할 수 있으며, 높은 에치 레이트 응용 프로그램의 경우 최대 온도 (400 ° C) 가 가능합니다. 또한, 프로세스 시작 시간이 3 분 미만인 빠른 접근 방식을 사용할 수 있습니다. 300LA의 고정밀 처리 기능은 레이저 전원 심도 감지 (depth-sensing) 및 실시간 기능 인식 (real-time feature recognition) 을 통해 자동화된 에칭 레시피 테이블에 의해 더욱 활성화됩니다. 이 시스템을 사용하여 연산자는 피쳐 인식, 정렬, 레시피 선택, 빠른 후처리 시퀀스를 추적할 수 있습니다. MAXIS 300LA는 또한 3 분 미만의 냉각 시간으로 에칭 후 빠른 냉각을 제공합니다. 이 냉각 시스템은 에칭 후 빠른 웨이퍼 처리를 허용하며, 평균 시간은 3 분 미만입니다. 이 기계는 또한 부품에 대한 열, 에치 및 응력 효과를 시뮬레이션하기위한 고급 모델을 특징으로하며, 이를 통해 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 300LA는 효율적인 운영 및 QA/QC 규정 준수를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 매개변수 잠금 (parameter lock), 포스트 프로세스 데이터 추적 (post-process data tracking) 및 통계 프로세스 제어 (statistical process control) 와 같은 기능 외에도 진단 및 피드백 기능을 제공하여 프로세스 반복성과 프로세스 추적 및 추적성을 유지하는 데 도움이 됩니다. MAXIS 300LA는 또한 완전 자동화 (Fully Automated) 작동을 가능하게 하여 운영자가 제한되어 있는 고도의 생산 환경에 적합합니다. 300LA는 강력한 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 다양한 기능과 장점을 제공하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 고정밀 처리 (high-precision processing), 빠른 결과 (quick result), 낮은 프로세스 중단 시간을 원하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.