판매용 중고 MAXIS 300L #9308177

제조사
MAXIS
모델
300L
ID: 9308177
빈티지: 2011
ICP Etcher 2011 vintage.
MAXIS Production MAXIS 300L은 대용량 생산 환경을 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 정밀도가 높은 기구로, 다양한 물질과 기판을 정확하게 에치 (etch) 하거나 재로 만들 수 있습니다. 마이크로프로세서 기반 제어 장비는 정확한 설정과 운영 제어를 가능하게 하며, 일관된 결과를 제공하고 폐기물을 줄입니다. MAXIS Production MAXIS 300 L의 직관적인 설계를 통해 빠른 도구 설정 및 변경 작업을 수행할 수 있습니다. 내장형 배기 시스템은 유해 가스를 효율적으로 수집, 폐기하여 안전한 작동을 보장합니다. MAXIS Production 300L은 1 미크론 미만의 정확도로 150mm/sec의 속도로 최대 12.5 "기판을 처리 할 수 있습니다. 그것 은 200 "미크론 '의 얕은 깊이 와 500" 미크론' 의 더 깊은 깊이 를 가져올 수 있다. 스핀 속도 (스핀 속도) 는 최대 5000 rpm이며, 다양한 재료 조성을 위해 일정한 회전 속도를 유지할 수 있습니다. MAXIS Production 300 L은 실리콘, 갈륨 비소, 알루미늄, 구리, 텅스텐 및 유리와 같은 다양한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. MAXIS Production MAXIS 300L에는 통합 PC 기반 제어 장치와 손쉬운 데이터 수집 및 분석을 위한 디지털 컨트롤러가 있습니다. "에치 '에 영향 을 주지 않고 정확성 을 최대화 하도록 설계 된 난방" 시이빙 챔버' 를 갖추고 있다. 또한 내장형 공기 냉각 장치 (air cooling machine) 와 고급 폐기물 관리 기능을 통해 다운타임을 줄일 수 있습니다. 맥시스 프로덕션 맥시스 300 L (MAXIS Production MAXIS 300 L) 의 독특한 기능은 에칭 프로세스를 모니터링하고 기판 전체에서 균일성을 보장하기 위해 사용되는 통합 비디오 카메라입니다. MAXIS Production 300L은 대용량 생산 환경을 위해 특별히 설계된 산업 등급 etcher/asher입니다. 첨단 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 폐기물 관리 시스템 (Waste Management System) 은 많은 양의 두껍고 밀도가 높은 재료를 처리할 수있는 안정적이고 효율적인 도구입니다. 또한 여러 단계에서 복잡한 기판을 제작하는 데 이상적인 도구입니다. 큰 기판 크기와 조절 가능한 스핀 속도를 통해 다른 에처/애셔 (etchers/ashers) 와 비교할 때 기판을 빠르고 효율적으로 처리 할 수 있습니다.
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