판매용 중고 MAXIS 300L #9216760

MAXIS 300L은 고해상도 마이크로 부품의 제조를 위해 설계된 고급 열 에처 및 애셔입니다. 재료 증착, 에칭, 재싱 (ashing) 을 위한 다양한 기능을 제공하는 성숙한 플랫폼입니다. MAXIS 300 L은 맞춤형 가스 입구 및 가스 유통 시스템을 갖춘 견고한 자동 장비를 갖추고 있습니다. 최소한의 잔류 오염으로 일관된 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위해 균일 한 가스 흐름을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 가스, 기판, 응용 압력을 처리 할 수 있습니다. 300L은 유연한 가스 흐름 구성을 갖춘 고급 리에 이온 에칭 (RIE) 모듈을 갖추고 있습니다. RIE 모듈은 습식 에칭, ICP 에칭, FIB 에칭 및 PECVD 에칭을 포함한 다양한 에칭 화학을 지원합니다. RIE 모듈은 밀폐된 챔버로 둘러싸여 있으며, 고정밀 아토마이저 (atomizer), 정밀 가스 분사기 (gas injection machine) 및 디지털 신호 처리 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 전력 (power) 및 유량 (flow rate) 과 같은 에칭 매개변수를 철저하게 제어하여 균일 한 에칭 및 향상된 패턴 정의를 달성할 수 있습니다. 300 L에는 유연한 기판 적재 및 처리 자산도 있습니다. 이 모델은 유리, 석영, 세라믹 재료를 포함한 다양한 기판을 지원합니다. 기판 적재 및 정렬 중 정밀도를 보장하는 고해상도 (High-resolution) 이동 단계를 갖추고 있습니다. 이 장비에는 처리 중 과열 방지를 위해 고온, 저압 냉각 기능이 있습니다. MAXIS 300L에는 높은 수준의 격리 케이스가있는 고급 애싱 시스템도 포함되어 있습니다. 이것은 습식 및 플라즈마 애싱 프로세스를 모두 지원합니다. 공정 온도, 압력, 화학 물질 이 많은 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있습니다. 고급 자동화 장치는 빠르고 일관된 애싱 프로세스를 보장합니다. MAXIS 300 L은 설계 된 기능 및 진행 중 테스트를 모니터링하기 위해 다양한 이미징 및 도량형 시스템과 호환됩니다. 이 시스템에는 다양한 어플리케이션에 대한 정확한 사용자 정의 및 최적화 기능을 제공하는 심층 진단 (in-depth diagnostics) 기능이 있습니다. 추가 기능에는 사용자 정의 가능한 가스 관리 및 소프트웨어가 제어 한 자동 가스 차단이 포함됩니다. 300L은 고해상도 마이크로 부품의 제조 및 수정에 이상적인 플랫폼입니다. 강력한 성능, 유연한 프로세스 제어 및 안정적인 운영을 제공합니다.