판매용 중고 MAXIS 300L #293586674
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맥시스 300L (MAXIS 300L) 은 금속, 플라스틱, 도자기 및 실리콘을 포함한 다양한 재료의 깊은 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔는 HF (Hydrogen Fluoride) 와 mp (Metal Plasma) 의 두 가지 에칭 기술을 결합하여 단일 챔버에서 깊고 균일 한 에칭을 달성합니다. MAXIS 300 L은 통합 에미터 및 수신기가 장착 된 스테인리스 스틸로 구성된 15 인치 스퀘어 챔버를 갖추고 있으며, 전체 4 채널 에칭/애싱이 가능합니다. 우라늄 (U2O2) 과 염소-헥사 플루오 라이드 (CF6) 가 에칭 효과를 강화하는 독특한 공정 가스가 챔버에 직접 주입되어 전체적으로 균일 한 공정 가스 분포를 보장합니다. 이 에처/애셔에는 샘플 처리를 위해 6 개의 쿼츠 트레이가 있으며, 3 개의 분리 가능하고 3 개의 고정되어 있습니다. 표본 들 을 "쿼츠 트레이 '에 적재 하여" 셔틀' 이라고 하는 장치 를 가지고 "챔버 '로 옮길 수 있다. 이 셔틀은 또한 추가 처리를 위해 표지/애셔 (etcher/asher) 에서 다른 실험실로 샘플 트레이를 운송하는 데 사용됩니다. 300L에는 자동 종료 및 비상 정지 (EN) 버튼을 포함한 내장 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 또한, 그것은 과압을 방지하여 etcher/asher의 안전한 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 300L (300 L) 은 2 개의 운영자 모드 (전체 수동 및 반자동) 를 갖춘 완전 자동화 에처이며 단계별 웨이퍼 스캐닝 및 패턴 비교 기능을 포함한 광범위한 프로세스 모니터링 도구를 제공합니다. 또한 3D 뷰 (3D View) 기능을 통해 데이터를 3 차원으로 그래픽으로 표시하여 사용자가 프로세스 결과를 살펴볼 수 있습니다. 시스템에는 여러 개의 챔버를 동기화할 수 있는 PLC (Programmable Logic Control) 보드와 대화식 메뉴와 작업 실행에 필요한 각 단계에 대한 단계별 설명을 제공하는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. 또한 IMAS (Intelligent Motion Analysis Software) 소프트웨어를 사용하면 속도, 압력, 프로세스 시간 등의 에칭 매개변수를 빠르고 쉽게 보정할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하면 원격 위치에서 etching 프로세스를 제어할 수 있습니다. 맥시스 300L (MAXIS 300L) 은 다양한 재료의 깊은 에칭과 재싱을위한 완벽한 도구입니다. 듀얼에칭 (Dual Etching) 기술과 특화된 설계로 다양한 재료에 비해 높은 정확도로 에칭 및 애싱 (Ashing) 에 이상적입니다. 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하므로, 안전성이 향상되고 프로세스 제어가 향상되어 하이엔드 애플리케이션에 이상적인 에처 (etcher )/애셔 (asher) 가 됩니다.
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