판매용 중고 MATTSON Suprema #182681

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제조사
MATTSON
모델
Suprema
ID: 182681
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Resist ashing system, 12" PM1: Double Wafer Ashing PM2: Double Wafer Ashing 2008 vintage.
MATTSON Suprema는 다양한 표면에 고해상도 구조, 회로, 패턴을 만드는 데 사용되는 etcher/asher입니다. 엔지니어링, 장치 제작, 회로 및 기타 미세 표면 처리에 널리 사용됩니다. 이 기계는 포괄적인 기능과 다양한 호환 재료 (compatible material) 및 기판 (substrate) 을 제공합니다. 슈프림 (Suprema) 에는 다양한 재료 및 프로세스에 대한 호환 가능한 에칭 옵션이 있습니다. 여기에는 레이저, 헬륨 네온 레이저, 이산화탄소 레이저, 이온 빔, ArF 레이저 및 반응성 이온 에칭 및 반응성 이온 밀링을 포함한 총 6 개의 외부 장착 옵션이 포함됩니다. 이러한 프로세스는 응용 프로그램에 따라 철 (ferrous) 및 비 (non-ferrous) 재료를 모두 반입하는 데 사용될 수 있습니다. 즉, 최소 수준의 열 예산을 지닌 병렬 처리 (parallelized processing) 아키텍처를 통해 etcher의 서비스 수명을 연장할 수 있습니다. MATTSON Suprema (MATTSON Suprema) 에는 광범위한 무선 주파수 차폐 시스템이 있어 사용자가 다양한 고주파 구성 요소를 사용할 수 있습니다. 이 과정에서 사용되는 가스 및 기타 재료는 다양한 환경 센서 (Environmental Sensor) 와 멀티 포인트 처리 아키텍처 (Multi-Point Processing Architecture) 를 사용하여 정확하게 제어합니다. 내장된 자동 감지 시스템 (Automated Detection System) 을 통해 프로세스에 대한 원격 모니터링 및 데이터 로깅을 수행할 수 있습니다. 고유한 슈프림마 RF (Suprema RF) 소스를 사용하면 모든 종류의 피쳐 크기, 방향, 제어를 사용하여 패턴과 모양을 전도성 표면에 에치할 수 있습니다. 프로세스 소스는 에치 깊이 (etch depth), 깊이 제어 (depth control) 및 시간 (time) 을 최적화하도록 구성하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 기계 (machine) 의 다양한 옵션과 기능을 통해 실험실이나 생산 레벨 (production-level) 환경에서 사용할 수 있습니다. 최소한의 교육과 지식 요구 사항 (Knowledge Requirement) 과 함께 사용, 유지 관리가 용이합니다. 소프트웨어 인터페이스 (Software interface) 는 직관적으로 설계되었으며, 내부 조명 시스템은 작동 중 에칭 된 서피스의 가시성을 보장합니다. MATTSON Suprema는 정확성, 정밀성 및 반복성 측면에서 고급 솔루션입니다. 안정적이고 효율적인 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 요구 사항과 선호도에 맞게 조정됩니다.
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