판매용 중고 MATTSON Suprema IM #9262053

MATTSON Suprema IM
제조사
MATTSON
모델
Suprema IM
ID: 9262053
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
System, 12" 2011 vintage.
MATTSON Suprema IM은 임계 및 복잡한 반도체 장치 제조에 이상적인 고급 etcher/asher입니다. 탁월한 성능, 고급 프로세스 제어, 비용 효율성 및 뛰어난 확장성을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 사용 비용이 낮아 최대의 프로세스 제어 및 반복 가능성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고급 etcher/asher는 매우 경쟁력 있는 프로세스 처리량, 제품 품질 및 프로세스 확장성을 제공합니다. Suprema IM의 최소 기능 크기는 0.25äm, 최소 라인 너비는 0.2äm입니다. 또한 현장 프로그래밍 가능한 게이트 어레이 (FPGA) 가 특징이며, etcher/asher는 향후 응용 프로그램에 진화하고 적응할 수 있습니다. MATTSON Suprema IM에는 반응성 이온 에칭 (RIE), 등방성 에칭, 화학 증기 에칭 (CVAE) 및 심층 반응성 이온 에칭 (DRIE) 을 포함한 다양한 에처 및 가스 공정이 있습니다. 이 에처/애셔에는 높은 사양 다중 가스 제어 옵션, 고해상도 이미징 및 매우 정밀한 매칭이 있습니다. 향상된 유연성 (Flexibility) 과 확장성 (Scalability) 을 통해 클린 룸 (Clean Room) 에서 주입 환경 (Abatement Environment) 에 이르기까지 다양한 프로세스 모듈에서 Etcher/Asher를 사용할 수 있습니다. 슈프림마 IM (Suprema IM) 은 고유 한 챔버 설계를 통해 에처/애셔 (etcher/asher) 에서 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드하여 프로세스 시간이 단축되고 우발적 오염 위험이 줄어듭니다. 또한, 이 etcher/asher는 균일 한 에칭 및 프로세스 제어를 보장하기 위해 고급 소프트웨어를 가지고 있습니다. MATTSON Suprema IM (MATTSON Suprema IM) 은 광범위한 어플리케이션에 대해 반복 가능하고 재현 가능한 결과를 제공하는 탁월한 프로세스 제어 정확도를 제공합니다. 그것 은 금속, 산화물, 질화물, 규산화물 을 포함 하여 여러 가지 물질 을 동시 에 에칭 할 수 있는 유연성 을 제공 하며, 자원 을 최소화 한다. 이 고급 etcher/asher는 고급 메모리, 논리, 마이크로 프로세서 및 광전자 장치의 응용 프로그램에 적합합니다. Suprema IM은 비용 효율적이며, 프로세스 제어 및 디바이스 제작의 효율성을 극대화합니다. 이 etcher/asher 를 사용하면 다운타임을 줄이고 복잡한 프로세스 수행 시 사용자에게 유연성을 제공합니다. 고성능, 유연성 및 확장성을 결합한 MATTSON Suprema IM은 고급 반도체 장치 제조에 이상적인 솔루션입니다.
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