판매용 중고 MATTSON Suprema IM #9257461

MATTSON Suprema IM은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. Suprema IM은 단일 배치로 수백 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이는 대용량 생산 요구에 이상적인 선택입니다. 높은 처리량, 낮은 소유 비용, 출시 기간 단축이 특징입니다. MATTSON Suprema IM은 고급 프로세스 기능과 빠른 처리율을 제공합니다. 저압, 냉장 에칭 공정 (eching process) 으로 작동 한 후 다양한 자본과 온도에서 광범위한 화학 물질과 동적으로 결합됩니다. 이것은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 과 낮은 결함 수준에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 또한 고급 온도 제어 (Advanced Temperature Control) 를 통해 에칭 및 에치 깊이를 최적화하여 미세 패턴화를 수행할 수 있습니다. 확장 가능한 처리량은 시간당 최대 80 웨이퍼 (wafer per hour) 이며, 모든 주기마다 정확한 에치 깊이를 보장하기 위해 자동 레벨링이 장착됩니다. Suprema IM은 견고한 구조로 설계되어 내구성이 뛰어나고 안정적입니다. 기본, 에치 (etch) 및 애싱 시스템, 프로세스 레시피 모듈, 케이스 및 기본 히터를 포함한 주변 장치 패키지가 제공됩니다. 또한 다른 MATTSON 프로세스 검사 및 모니터 시스템과 통합하여 높은 수율 및 고수율 결함 (High Yield Defect Reduction) 을 제공합니다. ARMPAX 웨이퍼 처리 시스템과 호환되는 시스템을 포함하여 대부분의 업계 표준 웨이퍼 (wafer) 마운트 해제 및 피드 시스템과 호환됩니다. MATTSON Suprema IM은 사용하기 매우 쉽도록 설계되었습니다. 프로세스 조건을 조정하고 작업을 관리하기 위한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 또한 간편한 전송/처리 기능을 제공하며, 고급 장애 감지/복구 기능도 제공합니다. 또한, 프로세스 모니터링 시스템은 신속한 수정 조치를 위해 실시간 분석 및 경고를 제공합니다. 전반적으로 Suprema IM은 반도체 산업에 맞춘 고급 에처 및 애셔입니다. 탁월한 프로세스 기능, 빠른 처리 속도, 견고한 구성, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 장애 감지/복구 기능을 제공합니다. 따라서, 대용량 생산 환경에 이상적인 선택입니다.